[PDF] GB/T 26113-2010 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 26113-2010 | 140 | GB/T 26113-2010 | 9秒内发货PDF | 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 26113-2010 (GB/T26113-2010) |
| 中文名称 | 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则 |
| 英文名称 | Micro-electromechanical system technology -- General rules for the assessment of micro-geometrical parameters |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.200 |
| 字数估计 | 12,199 |
| 发布日期 | 1/10/2011 |
| 实施日期 | 10/1/2011 |
| 引用标准 | GB/T 3505; GB/T 18779.2; GB/T 26111 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第1号(总第166号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。 |
GB/T 26113-2010
Micro-electromechanical system technology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
ICS 31.200
L55
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术
微几何量评定总则
2011-01-10发布
2011-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。
本标准主要起草人:丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥。
微机电系统(MEMS)技术
微几何量评定总则
1 范围
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本
文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3505 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法术语、定义及表面结构参数
GB/T 18779.2 产品几何量技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分:测量设备
校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
3 术语和定义
GB/T 3505和GB/T 26111中给出的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
微几何要素 micro-geometricalfeature
构成微结构几何特征最基本的点、线、面。
3.2
微几何量 micro-geometricalparameter
3.3
尺寸特征 featureofsize
由一定大小的线性尺寸或角度尺寸确定几何形状。
3.4
表面结构 surfacestructure
几何表面的重复性或偶然性......