路径: 主页 > GB/T > 第397页 > GB/T 26307-2010 | 标准编号 | GB/T 26307-2010 (GB/T26307-2010) | | 中文名称 | 银靶 | | 英文名称 | Silver target | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.120.99 | | 字数估计 | 9,910 | | 发布日期 | 2011-01-14 | | 实施日期 | 2011-11-01 | | 引用标准 | GB/T 4135; GB/T 6394; GB/T 11067; GB/T 15077 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第81号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。 | GB/T 26307-2010
Silver target
ICS 77.120.99
H68
中华人民共和国国家标准
银 靶
2011-01-14发布
2011-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。
银 靶
1 范围
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或
合同)内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 4135 银
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 11067 银化学分析方法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 要求
3.1 产品分类
银靶的类型按化学成分为IC-Ag99.99一种。
银靶的形状和尺寸主要由设备基台确定,外形主要为圆形、矩形和异型。
3.2 化学成分
银靶IC-Ag99.99的化学成分应符合GB/T 4135的规定。需方对某种特定杂质元素含量有要求
的,由供需双方协商确认。
3.3 晶粒度
银靶的横向平均晶粒度应在50μm~150μm。
3.4 外观质量
银靶表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷;无润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污;应清洁光滑,无
指痕,无油污和锈蚀。
3.5 表面粗糙度
银靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。
3.6 几何尺寸
3.6.1 圆形银靶的直径ϕ主要有:25mm 、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm,厚度通常为
3mm~35mm。
......
|