| 标准编号 | GB/T 26307-2025 (GB/T26307-2025) | | 中文名称 | 银靶材 | | 英文名称 | Siver target | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.150.99 | | 字数估计 | 8,852 | | 发布日期 | 2025-08-29 | | 实施日期 | 2026-03-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 26307-2010 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 26307-2025: 银靶材
ICS 77.150.99
CCSH68
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 26307-2010
银 靶 材
Silvertarget
2025-08-29发布
2026-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 26307-2010《银靶》,与 GB/T 26307-2010相比,除结构调整和编辑性改动
外,主要技术变化如下:
a) 增加了术语和定义(见第3章);
b) 增加了产品 Ag99.995纯度的分类和化学成分的要求,以及对应的试验方法(见4.1.1、5.1、
6.1);
c) 增加了产品结构形式要求(见4.1.2);
d) 增加了产品标记要求(见4.2);
e) 更改了晶粒度要求,由“银靶的横向平均晶粒度应在50μm~150μm”改为“产品的横向平均晶
粒度应不大于150μm”(见5.2,2010年版的3.3);
f) 增加了产品内部质量要求、试验方法及检验结果判定的规定(见5.3、6.3、7.4.2);
g) 增加了产品焊接质量要求、试验方法及检验结果判定的规定(见5.5、6.5、7.4.2);
h) 更改了产品外形尺寸及其允许偏差要求,由整体产品尺寸修改为不含背板的产品尺寸要求(见
5.6,2010年版的3.6);
i) 更改了产品晶粒度分析方法,删除了附录A“现场金相测定银靶横向平均晶粒度的检测方法”
(见5.2,2010年版的附录A);
j) 增加了产品检验项目及取样要求(见7.3);
k) 增加了产品随行文件及订货单中相关内容(见8.3、第9章)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国有色金属工业协会提出。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本文件起草单位:有研亿金新材料有限公司、金川集团股份有限公司、云南省贵金属新材料控股集
团股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研亿金新材料(山东)有限公司、有研资源环境技
术研究院(北京)有限公司。
本文件主要起草人:宋琦、何金江、万小勇、杨晓艳、闻明、吴卫煌、朱孜毅、袁学韬、张亚东、尚再艳、
王传军、应宗波、张晓娜、徐国进、辛柏朴、刘丹。
本文件于2010年首次发布,本次为第一次修订。
银 靶 材
1 范围
本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行
文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款,其中注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB/T 1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T 4135 银锭
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 8651 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 11067(所有部分) 银化学分析方法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 36590 高纯银化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
GB/T 39810 高纯银锭
YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材 target
溅射沉积技术中的阴极部分。
注:该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
......
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