路径: 主页 > GB/T > 第239页 > GB/T 32817-2016 | 标准编号 | GB/T 32817-2016 (GB/T32817-2016) | | 中文名称 | 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 | | 英文名称 | Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Generic specification for MEMS | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L55 | | 国际标准分类 | 31.080.99 | | 字数估计 | 19,111 | | 发布日期 | 2016-08-29 | | 实施日期 | 2017-03-01 | | 标准依据 | 国家标准公告2016年第14号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 32817-2016
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Generic specification for MEMS
ICS 31.080.99
L55
中华人民共和国国家标准
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
2016-08-29发布
2017-03-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 标准环境 1
5 标识 2
5.1 器件识别 2
5.2 器件可追溯性 2
5.3 包装 2
6 质量评定程序 2
6.1 总则 2
6.2 质量和(或)性能合格认定 2
6.3 鉴定批准程序 3
7 试验和测试程序 6
7.1 标准条件和通用预防措施 6
7.2 物理检查 7
7.3 气候和机械试验 7
7.4 替代试验方法 7
附录A(规范性附录) 抽样程序 8
附录B(资料性附录) MEMS工艺与器件的分类 9
附录C(资料性附录) 规范性引用文件中标准一致性关系 13
参考文献 16
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准使用重新起草法修改采用国际标准IEC 62047-4:2008《半导体器件 微机电器件 第4部
分:MEMS总规范》。
本标准与IEC 62047-4:2008相比,主要技术变化如下:
---删除IEC 62047-4:2008《半导体器件 微机电器件 第4部分:MEMS总规范》第1章中“表
1MEMS分类和术语”,该分类与我国现行国家标准GB/T 26111《微机电系统(MEMS)技术
术语》不完全统一;
---将IEC QC001002-3:2005名称及对应的章节修改为IEC Q03-3:2013。IEC QC001002-3:
2005已经废止,由IEC Q03-3:2013替代;
---将6.3.1中“按要求提交给NSI”修改为“按要求提交给有关部门”,因为NSI为美国机构;
---删除B.3.1中的AS,此缩略语容易引起歧义;
---将规范性引用文件中IEC 62047-1《半导体器件 微机电器件 第1部分:术语和定义》修改为
GB/T 26111《微机电系统(MEMS)技术 术语》,确保此标准与现行国家标准相协调;
关于规范性引用文件,本标准做了具有技术性差异的调整,以适应我国的技术条件,调整的情况集
中反映在第2章“规范性引用文件”中,具体调整如下:
● 用GB/T 2423代替IEC 60068-2(所有部分),标准各部分之间的一致性程度见附录C;
● 用GB/T 2424代替IEC 60068-2(所有部分),标准各部分之间的一致性程度见附录C;
● GB/T 4937(所有部分)代替IEC 60749(所有部分),标准各部分之间的一致性程度见附录C。
为便于使用,本标准做了下列编辑性修改:
---增加了6.1,第6章其他条款顺延;
---把国际标准中的A.1.1改为A.2,悬置段提取标题作为A.2.1,其他章条号顺延;
---将B.3.1与B.3.2互换位置;
---将标准名称修改为“半导体器件 微机电器件 MEMS总规范”。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京
理工大学、大连理工大学。
本标准主要起草人:李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲。
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
1 范围
本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IEC Q-CECC体系质量
评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。
本标准适用于各类 MEMS器件[如传感器、射频 MEMS,但不包括光 MEMS、生物 MEMS、微全分
析系统(Micro-TAS)和微能源 MEMS]。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 2423 电工电子产品环境试验 第2部分[IEC 60068-2(所有部分)]
GB/T 2424 环境试验[IEC 60068-2(所有部分)]
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
(GB/T 2828.1-2012,ISO 2859-1,IDT)
GB 3100 国际单位制及其应用(GB 3100-1993,eqvISO 1000)
GB/T 4728(所有部分) 电气简图用图形符号(IEC 60617,IDT)
GB/T 4937(所有部分) 半导体器件 机械和气候试验方法[IEC 60749(所有部分)]
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
IEC 61193-2 质量评定体系 第2部分:电子元件和包装检验的抽样方案选用(Quality
IEC Q03-3:2013 IEC 电子元件质量评定体系 (IEC Q 系统) 程序规则 第3部分......
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