路径: 主页 > GB/T > 第432页 > GB/T 34210-2017 | 标准编号 | GB/T 34210-2017 (GB/T34210-2017) | | 中文名称 | 蓝宝石单晶晶向测定方法 | | 英文名称 | Test method for determining the orientation of sapphire single crystal | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 6,612 | | 发布日期 | 2017-09-07 | | 实施日期 | 2018-06-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34210-2017
Test method for determining the orientation of sapphire single crystal
ICS 77.040
H21
中华人民共和国国家标准
蓝宝石单晶晶向测定方法
2017-09-07发布
2018-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位.中科院上海光学精密机械研究所、丹东新东方晶体仪器有限公司、深圳市中安测
标准技术有限公司、东莞市华源光电科技有限公司。
本标准主要起草人.杭寅、甄伟、尹继刚、赵松彬、洪佳琪、张连翰、张毅、刘卫卫。
蓝宝石单晶晶向测定方法
1 范围
本标准规定了采用X射线定向仪测定蓝宝石单晶晶向的方法。
本标准适用于测定表面取向大致平行于低指数晶面的蓝宝石单晶材料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 14264 半导体材料术语
JB/T 5482 X射线晶体定向仪
3 术语和定义
GB/T 1555、GB/T 14264和JB/T 5482界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法原理
晶体晶向是基于X射线衍射原理来测定的。单晶是由三维周期性结构排列的原子组成,可以看作
是原子排列空间垂直距离为d的一系列平行晶面所形成,当一束平行的单色X射线射入该晶面上,且
X射线照在相邻晶面之间的光程差为其波长的整数倍即n倍时,就会产生衍射(反射)。利用计数器探
测衍射线,根据其出现的位置即可确定单晶的晶向,如图1所示。
图1 X射线照射到单晶晶面上几何反射条件
当入射光束与反射晶面之间夹角θ、......
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