[PDF] GB/T 38341-2019 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 38341-2019 | 379 | GB/T 38341-2019 | <=4 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 38341-2019 (GB/T38341-2019) |
| 中文名称 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 |
| 英文名称 | Micro-electromechanical system technology - The reliability test methods of MEMS in integrated environments |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.200 |
| 字数估计 | 19,189 |
| 发布日期 | 2019-12-31 |
| 实施日期 | 2020-04-01 |
| 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 38341-2019
Micro-electromechanical system technology -- The reliability test methods of MEMS in integrated environments
ICS 31.200
L55
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术
MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
2019-12-31发布
2020-04-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 试验方法 1
4.1 预处理 1
4.2 温度、湿度试验 2
4.3 机械试验 9
4.4 耦合试验 12
5 失效结果处理 15
参考文献 16
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中
心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、
中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司。
本标准主要起草人:王磊、黄创君、于振毅、陆学贵、朱悦、夏长奉、黄庆安、龙克文、石云波、李海斌、
肖昆辉、郑凤杰、张威、程逸轩、马书嫏、陈得民。
微机电系统(MEMS)技术
MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
1 范围
本标准规定了 MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
本标准适用于需要进行可靠性试验的 MEMS器件。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
3 术语和定义
GB/T 26111界定的术语和定义适用于本文件。
4 试验方法
4.1 预处理
4.1.1 概述
试验前应对器件进行预处理。若器件使用时不需要焊接或者使用者认定焊接不会对器件产生影
响,则无需进行预处理。
4.1.2 目的
本试验模拟器件在实际使用时因为焊接所经历的各种环境的影响。由于焊接工艺过程中温度与湿
度影响有可能造成器件产生热失配应力、水汽蒸发造成的大应变,以及有机物污染等失效。因此,有焊
接需要的器件应进行此试验。
4.1.3 设备
试验设备包括一台能在规定温度下恒温的温控试验箱、一台可在规定温度和湿度下工作的浸湿设
备,以及一台能够达到规定温度的回流焊设备。
4.1.4 程序
4.1.4.1 试验箱的......