[PDF] GB/T 38446-2020 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 38446-2020 | 259 | GB/T 38446-2020 | <=3 | 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 38446-2020 (GB/T38446-2020) |
| 中文名称 | 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 |
| 英文名称 | Micro-electromechanical system technology - Test methods for tensile property measurement of strip thin films |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.200 |
| 字数估计 | 14,140 |
| 发布日期 | 2020-03-06 |
| 实施日期 | 2020-10-01 |
| 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 38446-2020
Micro-electromechanical system technology--Test methods for tensile property measurement of strip thin films
ICS 31.200
L55
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术
带状薄膜抗拉性能的试验方法
2020-03-06发布
2020-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 试验方法 2
5 数据处理 4
附录A(资料性附录) 采用 MEMS工艺的样品制备 5
附录B(资料性附录) 对准偏差和几何结构对性能测试的影响 7
附录C(资料性附录) 纳米压痕仪的测试结果误差及补偿 9
参考文献 10
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技
有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。
本标准主要起草人:张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书嫏、程红兵、周浩楠。
微机电系统(MEMS)技术
带状薄膜抗拉性能的试验方法
1 范围
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于 MEMS
产品带状薄膜结构的质量监控。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
3 术语和定义
GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
弹性模量 modulusofelasticity
材料在弹性变形阶段时,应力与应变的比值。
注:改写GB/T 3102.3-1993,定义3.18.1。
3.2
屈服强度 yieldstrength
Re
当材料呈现屈服现象时,在试验期间达到塑性变形发生而力不增加的应力点。
注1:改写GB/T 228.1-2010,定义3.10.2。
注2:对于屈服现象明显的材料,屈服强度就是材料发生屈服现象时屈服极限的应力;对于屈服现象不明显的材料,
屈服强度为应变达到残余应变0.2%时的应力。
3.3
抗拉强度 tensilestrength
Rm
材料拉断过程中对应的最......