路径: 主页 > GB/T > 第408页 > GB/T 39158-2020 | 标准编号 | GB/T 39158-2020 (GB/T39158-2020) | | 中文名称 | 平面显示用高纯铜旋转管靶 | | 英文名称 | High purity copper rotatable tube target for flat panel display | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H61 | | 国际标准分类 | 77.150.30 | | 字数估计 | 8,895 | | 发布日期 | 2020-11-19 | | 实施日期 | 2021-10-01 | | 引用标准 | GB/T 1804-2000; GB T 5121.27; GB/T 8170; GB/T 14265; YS/T 347; YS/T 922; YS/T 1000-2014 | | 标准依据 | 国家标准公告2020年第26号 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。 | GB/T 39158-2020
(High-purity copper rotating tube target for flat display)
ICS 77.150.30
H62
中华人民共和国国家标准
平面显示用高纯铜旋转管靶
2020-11-19发布
2021-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有
限公司、沈阳有色金属加工有限公司。
本标准主要起草人:曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、
袁海军、刘晓、张健、郭姗姗。
平面显示用高纯铜旋转管靶
1 范围
本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、
包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1804-2000 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB T5121.27 铜及铜合金化学分析方法 第27部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 347 铜及铜合金平均晶粒度测定方法
YS/T 922 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1000-2014 铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
旋转管靶
一种平板显示领域用的管状靶材。
注:主要用于电子薄膜沉积。
3.2
表面粗糙度
Ra
加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra,即在一定测量长度l
范围内,轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。用下式表示:
4 分类
产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为ϕ155......
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