[PDF] GB/T 6621-1995 - 英文版

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GB/T 6621-1995 439 GB/T 6621-1995 <=4 硅抛光片表面平整度测试方法
   
基本信息
标准编号 GB/T 6621-1995 (GB/T6621-1995)
中文名称 硅抛光片表面平整度测试方法
英文名称 Test methods for surface flatness of silicon polished slices
行业 国家标准 (推荐)
中标分类 H21
国际标准分类 29.040.30
字数估计 11,180
发布日期 4/18/1995
实施日期 12/1/1995
旧标准 (被替代) GB 6621-1986
采用标准 ASTM F775-1988, MOD
发布机构 国家技术监督局

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相关标准: GB/T 5162  GB/T 6148  GB/T 6147  GB/T 6616