标准搜索结果: 'JJF 1100-2003'
| 标准编号 | JJF 1100-2003 (JJF1100-2003) | | 中文名称 | 平面等厚干涉仪校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 字数估计 | 14,130 | | 发布日期 | 2003-05-12 | | 实施日期 | 2003-11-12 | | 旧标准 (被替代) | JJG 336-1983 | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本标准适用于平面等厚干涉仪的校准, 不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。 | JJF 1100-2003
Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
中华人民共和国国家计量技术规范
平面等厚干涉仪校准规范
2003-05-12发布
2003-11-12实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
平面等厚干涉仪校准规范
FlatEq
代替JJG336-1983
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2003年05月12日批准,并自
2003年11月12日起施行。
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
负责起草单位:中国测试技术研究院
本规范由归口单位负责解释
本规范主要起草人:
冉 庆 (中国测试技术研究院)
陈永康 (中国测试技术研究院)
参加起草人:
李建民 (中国测试技术研究院)
曹 箭 (中国测试技术研究院)
目 录
1 范围 (1)
2 引用文献 (1)
3 概述 (1)
4 计量特性 (1)
4.1 干涉条纹间距测量的重复性 (1)
4.2 测微目镜的示值误差 (1)
4.3 物镜系统引起的条纹弯曲量 (1)
4.4 仪器的示值误差 (2)
5 校准条件 (3)
5.1 环境条件 (3)
5.2 校准用标准器及相应设备 (4)
6 校准项目和校准方法 (4)
6.1 干涉条纹间距测量的重复性 (4)
6.2 测微目镜的示值误差 (4)
6.3 物镜系统引起的条纹弯曲量 (4)
6.4 仪器的示值误差 (5)
7 校准结果表达 (5)
8 复校时间间隔 (5)
附录A 校准证书内容 (6)
附录B 平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析 (7)
平面等厚干涉仪校准规范
1 范围
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干
涉装置的校准。
2 引用文献
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
JJG28-2000 平晶检定规程
JB/T 7401-1994 平面平晶
使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3 概述
平面等厚干涉仪 (以下简称仪器)是采用等厚光波干涉原理,用于测量物体表面平
面度的光学计量仪器,根据仪器示值误差可分为一级和二级。按其结构分为用钠光做光
源、不带标准平面平晶和用激光做光源、带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。其外
形结构与光学原理分别见图1、图2和图3、图4。
图1 不带标准平晶的外形结构图
4 计量特性
4.1 干涉条纹间距测量的重复性
重复性不超过0.020mm。
4.2 测微目镜的示值误差
在任......
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