| 标准编号 | JJF 1100-2016 (JJF1100-2016) | | 中文名称 | 平面等厚干涉仪校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 字数估计 | 15,197 | | 发布日期 | 2016-11-30 | | 实施日期 | 2017-05-30 | | 旧标准 (被替代) | JJF 1100-2003 | | 标准依据 | State Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine Notice No.119 of 2016 | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | JJF 1100-2016
Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
中华人民共和国国家计量技术规范
平面等厚干涉仪校准规范
2016-11-30发布
2017-05-30实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
平面等厚干涉仪校准规范
代替JJF1100-2003
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位:中国测试技术研究院
中国计量科学研究院
参加起草单位:中国科学院光电技术研究所
中测测试科技有限公司
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
冉 庆 (中国测试技术研究院)
张 恒 (中国计量科学研究院)
赵小萍 (中国测试技术研究院)
康岩辉 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
吴时彬 (中国科学院光电技术研究所)
徐德宇 (中国测试技术研究院)
卿光亚 (中测测试科技有限公司)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 概述 (1)
4 计量特性 (3)
4.1 干涉条纹间距测量的重复性 (3)
4.2 测微目镜的示值误差 (3)
4.3 物镜系统引起的干涉条纹弯曲量 (3)
4.4 仪器的示值误差 (3)
5 校准条件 (3)
5.1 环境条件 (3)
5.2 校准项目和测量标准及其他设备 (3)
6 校准方法 (4)
6.1 干涉条纹间距测量的重复性 (4)
6.2 测微目镜的示值误差 (4)
6.3 物镜系统引起的干涉条纹弯曲量 (4)
6.4 仪器的示值误差 (5)
7 校准结果的表达 (5)
8 复校时间间隔 (5)
附录A 平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介 (6)
附录B 平面等厚干涉仪示值误差校准不确定度评定示例 (7)
附录C 校准证书内页信息及格式 (10)
引 言
JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011 《通用计量术语及
定义》和JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范修订
工作的基础性系列规范。
与JJF1100-2003 《平面等厚干涉仪校准规范》相比,本规范除编辑性修改外,主
要技术变化如下:
---本规范取消了按仪器示值误差对平面等厚干涉仪分级;
---本规范取消了 “不带标准平面平晶平面等厚干涉仪的示值误差可以不测量”这
条规定;
---本规范增加了附录A:平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介;
---本规范中平面等厚干涉仪示值误差的测量推荐由二块ϕ150mm一等标准平面
平晶按其两测量截面一一对应测量方法得到,并保留原规范用三块二等平面平晶互检
方法;
---本规范取消复校时间间隔中 “建议一般不超过1年”条款,校准时间间隔由用
户根据自身企业情况确定。
本规范的历次版本发布情况:
---JJF1100-2003 《平面等厚干涉仪校准规范》;
---JJG336-1983《平面等厚干涉仪》。
平面等厚干涉仪校准规范
1 范围
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。
2 引用文件
本规范引用下列文件:
JJG28-2000 平晶
JB/T 7401-1994 平面平晶
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用本规范。
3 概述
平面等厚干涉仪 (以下简称仪器)是采用等厚光波干涉原理,用于物体表面平面度
测量 (或检测......
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