[PDF] SJ/T 10311-1992 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 10311-1992 | 389 | SJ/T 10311-1992 | <=3 | 低压化学气相淀积设备通用技术条件 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 10311-1992 (SJ/T10311-1992) |
| 中文名称 | 低压化学气相淀积设备通用技术条件 |
| 英文名称 | Generic specification of low pressure chemical vapor deposition system |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L99 |
| 字数估计 | 11,127 |
| 发布日期 | 6/5/1992 |
| 实施日期 | 12/1/1992 |
| 引用标准 | SJ 2065; SJ 142; SJ 946; GB 191; GB 6388 |
| 范围 | 本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备(以下简称LPCVD设备)的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。 |
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