[PDF] SJ/T 10583-1994 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 10583-1994 | 639 | SJ/T 10583-1994 | <=3 | 气体质量流量控制器通用技术条件 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 10583-1994 (SJ/T10583-1994) |
| 中文名称 | 气体质量流量控制器通用技术条件 |
| 英文名称 | General specification for gas mass flow controller |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L98 |
| 字数估计 | 16,159 |
| 发布日期 | 8/8/1994 |
| 实施日期 | 12/1/1994 |
| 引用标准 | GB 191; GB 6388; GB/T 13384; SJ 37 |
| 标准依据 | 工科(2010) 第77号; 工信部公告2016年第17号; 行业标准备案公告2016年第7号(总第199号) |
| 范围 | 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼, 以及化工、冶金、卫生等部门。 |
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