路径: 主页 > YS/T > 第8页 > YS/T 1069-2015 | 标准编号 | YS/T 1069-2015 (YS/T1069-2015) | | 中文名称 | 金铍蒸发料 | | 英文名称 | Gold-beryllium alloy evaporation material | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.150.99 | | 字数估计 | 5,568 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 引用标准 | GB/T 15072.11; GB/T 15077; GB/T 26292-2010; GJB 950.1A | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了金铍合金蒸发料的技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。 | YS/T 1069-2015
(Beryllium metal evaporation material)
ICS 77.150.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
金 铍 蒸 发 料
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。
本标准主要起草人:谢宏潮、阳岸恒、向磊、朱勇、朱武勋。
金 铍 蒸 发 料
1 范围
本标准规定了金铍合金蒸发料的技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存及质量证
明书与订货单(或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 15072.11 贵金属合金化学分析方法 金合金中钆和铍量的测定 电感耦合等离子体原子
发射光谱法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 26292-2010 金锗蒸发料
GJB950.1A 贵金属及其合金微量元素分析方法
3 要求
3.1 产品分类
按合金元素组成分为3个牌号:Au99.5Be、Au99Be、Au98Be。
3.2 化学成分
产品的化学成分应符合表1的规定。
表1 化学成分 %(质量分数)
合金牌号
主成分
杂质含量
不大于
Au Be Fe Pb Sb Bi Zn Cd 总量
Au99.5Be 余量 0.45~0.55 0.002 0.002 0.002 0.002 0.005 0.005 0.02
Au99Be 余量 0.90~1.10 0.002 0.002 0.002 0.002 0.005 0.005 0.02
Au98Be 余量 1.98~2.20 0.0......
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