[PDF] YS/T 23-1992 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| YS/T 23-1992 | 199 | YS/T 23-1992 | <=2 | 硅外延层厚度测定.堆垛层错尺寸法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | YS/T 23-1992 (YS/T23-1992) |
| 中文名称 | 硅外延层厚度测定.堆垛层错尺寸法 |
| 英文名称 | Thickness determination for silicon epitaxial layers - Stacking fault method |
| 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | H21 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 5,572 |
| 发布日期 | 3/9/1992 |
| 实施日期 | 1/1/1993 |
| 范围 | 本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。本标准适用于在<111>, <100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的硅外延层厚度的测量。 |
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