[PDF] YS/T 26-1992 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| YS/T 26-1992 | 199 | YS/T 26-1992 | <=2 | 硅片边缘轮廓检验方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | YS/T 26-1992 (YS/T26-1992) |
| 中文名称 | 硅片边缘轮廓检验方法 |
| 英文名称 | Test method for silicon wafer edge |
| 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | H81 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 5,517 |
| 发布日期 | 3/9/1992 |
| 实施日期 | 1/1/1993 |
| 采用标准 | ASTM F928-1985, MOD |
| 发布机构 | 中国有色金属工业总公司 |
| 范围 | 本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓。 |
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