路径: 主页 > YS/T > 第4页 > YS/T 28-2015 | 标准编号 | YS/T 28-2015 (YS/T28-2015) | | 中文名称 | 硅片包装 | | 英文名称 | Package of silicon wafers | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H80 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 8,839 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 旧标准 (被替代) | YS/T 28-1992 | | 引用标准 | GB/T 12964; GB/T 12965; GB/T 14139; GB/T 14264; GB/T 26071; GB/T 29055; GB/T 29506; GB 50073 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片包装和太阳能电池用硅片包装, 使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。 | YS/T 28-2015
Package of silicon wafers
ICS 29.045
H80
中华人民共和国有色金属行业标准
代替YS/T 28-1992
硅 片 包 装
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准代替YS/T 28-1992《硅片包装》。
本标准与YS/T 28-1992相比主要变化如下:
---扩大了标准的范围,增加了硅研磨片包装和太阳能电池用硅片包装;
---增加了规范性引用文件、术语和定义等;
---增加了包装的干扰因素。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江
苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司。
本标准主要起草人:王飞尧、孙燕、马林宝、夏根平、林清香、楼春兰、王志同。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---YS/T 28-1992。
硅 片 包 装
1 范围
本标准规定了硅片的包装。
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装
和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 12964 硅单晶抛光片
GB/T 12965 硅单晶切割片和研磨片
GB/T 14139 硅外延片
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 26071 太阳能电池用硅单晶切割片
GB/T 29055 太阳电池用多晶硅片
GB/T 29506 300mm硅单晶抛光片
GB 50073 洁净厂房设计规范
3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
洁净包装 cleanpackage
用专用的运输片盒对抛光片、外延片、SOI等晶片进行包装,使其在运输、贮存过程中避免颗粒、金
属及有机物等对片盒中晶片的沾污。
3.2
结合胶带 seamtape
有黏附层的胶带,用于密封晶片盒的座和盖之间的接口。
3.3
片盒 waferbox
由一个盒座和一个盒盖组成的封闭容器,其中带有装载晶片的片篮,一起组成一套晶片片盒。用于
贮存和运输晶片。
3.4
内包装袋 innerwr......
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