| 标准编号 | GB/T 14604-2009 (GB/T14604-2009) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 氧 |
| 英文名称 | Gas for electronic industry -- Oxygen |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 11,138 |
| 发布日期 | 2009-10-30 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 14604-1993 |
| 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB/T 3863; GB 5099; GB 7144; GB/T 8984; GB 14194; GB/T 14600; GB 16912; JB/T 5905; JB/T 6897; JB/T 6898; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全技术监察规程; 压力管道安全管理与监察规定 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了电子工业用载的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧, 以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积, 用作氧化源和生产高纯水的反应剂, 用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维 |