搜索结果: GB/T 14604-2009, GB/T14604-2009, GBT 14604-2009, GBT14604-2009
| 标准编号 | GB/T 14604-2009 (GB/T14604-2009) | | 中文名称 | 电子工业用气体 氧 | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Oxygen | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 11,138 | | 发布日期 | 2009-10-30 | | 实施日期 | 2010-05-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 14604-1993 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB/T 3863; GB 5099; GB 7144; GB/T 8984; GB 14194; GB/T 14600; GB 16912; JB/T 5905; JB/T 6897; JB/T 6898; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全技术监察规程; 压力管道安全管理与监察规定 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了电子工业用载的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧, 以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积, 用作氧化源和生产高纯水的反应剂, 用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维 | GB/T 14604-2009
Gas for electronic industry.Oxygen
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １４６０４-２００９
代替GB/T １４６０４-１９９３
电子工业用气体 氧
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １４６０４-１９９３《电子工业用气体 氧》。
本标准与GB/T １４６０４-１９９３相比主要变化如下：
---修改电子工业用氧的适用范围（GB/T １４６０４-１９９３的第１章，本版的第１章）；
---修改规范性引用文件（GB/T １４６０４-１９９３的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容（GB/T １４６０４-１９９３的第３章，本版的第３章）；
---修改瓶装电子工业用氧采样要求（GB/T １４６０４-１９９３的４．１，本版的４．１．３）；
---修改瓶装电子工业用氧抽样方法（GB/T １４６０４-１９９３的第５章，本版的４．１．１、４．１．２、４．１．４）；
---修改氢、氩、氮、氪、一氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮、总烃和水含量的分析方法和标准样品的规
定，当出现多种分析方法时，规定仲裁方法（GB/T １４６０４-１９９３的４．３、４．４、４．５、４．６、４．７、
４．８，本版的４．３、４．４、４．６、４．７、４．８）；
---增加一氧化氮含量的分析方法（本版的４．５）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １４６０４-１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；
---删去GB/T １４６０４-１９９３的附录Ａ和附录Ｂ；
---增加规范性附录Ａ，并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的氢、氩、氮和氪组分
的方法写入该附录（见附录Ａ）；
---增加规范性附录Ｂ，并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的一氧化碳、二氧化碳
和氧化亚氮组分的方法写入该附录（见附录Ｂ）。
本标准的附录Ａ、附录Ｂ为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人：周泽义、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １４６０４-１９９３。
GB/T １４６０４-２００９
电子工业用气体 氧
１ 范围
本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二
氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式：Ｏ２。
相对分子质量：３１．９９８８（按２００５年国际相对原子质量计算）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０ 危险货物包装标志
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB/T ３８６３ 工业氧
GB ５０９９ 钢质无缝气瓶（GB ５０９９-１９９４，neq ISO ４７０５：１９９３）
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB/T ８９８４ 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB １４１９４ 永久气体气瓶充装规定
GB/T １４６００ 电子工业用气体 氧化亚氮
GB １６９１２ 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规范
ＪＢ/T ５９０５ 真空多层绝热低温液体容器
ＪＢ/T ６８９７ 低温液体运输车
ＪＢ/T ６８９８ 低温液体贮运设备 使用安全规则
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定
３ 技术要求
电子工业用气体氧的质量应符合表１的要求。
表１ 技术指标
项 目 指......
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