路径: 主页 > GB/T > 第238页 > GB/T 17866-1999

[PDF] GB/T 17866-1999 - 英文版

标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	状态
GB/T 17866-1999	英文版	349	GB/T 17866-1999	[PDF]天数 >=3	掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

基本信息
标准编号	GB/T 17866-1999 (GB/T17866-1999)
中文名称	掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
英文名称	Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	L56
国际标准分类	31.2
字数估计	10,148
发布日期	9/13/1999
实施日期	6/1/2000
引用标准	GB/T 16880-1997; SJ/T 10584-1994
采用标准	SEMI P23-1993, IDT
发布机构	国家质量技术监督局
范围	本标准规定了掩模缺陷检查系统灵敏度。

......