| 标准编号 | GB/T 20307-2006 (GB/T20307-2006) |
| 中文名称 | 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则 |
| 英文名称 | General rules for nanometer-scale length measurement by SEM |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | N33 |
| 国际标准分类 | 37.020.17.040 |
| 字数估计 | 17,112 |
| 发布日期 | 2006-07-19 |
| 实施日期 | 2007-02-01 |
| 标准依据 | 中国国家标准批准发布公告 2006年第8号(总第95号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm~500nm的点或线的间距。 |