路径: 主页 > GB/T > 第736页 > GB/T 23414-2026 | 标准编号 | GB/T 23414-2026 (GB/T23414-2026) | | 中文名称 | 微束分析 扫描电子显微术 术语 | | 英文名称 | Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N33 | | 国际标准分类 | 01.040.37,37.020 | | 发布日期 | 2026-01-28 | | 实施日期 | 2026-08-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 23414-2009 | GB/T 23414-2026: 微束分析 扫描电子显微术 术语
ICS 37.020;01.040.37
CCSN33
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 23414-2009
微束分析 扫描电子显微术 术语
(ISO 22493:2014,IDT)
2026-01-28发布
2026-08-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 缩略语 1
4 SEM 物理基础术语和定义 1
5 SEM仪器术语和定义 5
6 SEM成像和图像处理的术语和定义 11
7 SEM图像诠释和分析的术语和定义 15
8 SEM图像放大倍率和分辨率校正及测量的术语和定义 17
参考文献 19
索引 20
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
本文件代替GB/T 23414-2009《微束分析 扫描电子显微术 术语》,与GB/T 23414-2009相
比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a) 更改了“EDS”缩略语的释义(见第3章,2009年版的第2章);
b) 更改了“场发射”术语的定义(见4.1.2.1,2009年版的3.1.2.1);
c) 更改了“蒙特卡罗模拟”术语的定义(见4.5.5,2009年版的3.5.5);
d) 更改了“电子背散射衍射(EBSD)”术语的定义(见4.7.1,2009年版的3.7.1);
e) 更改了“像散”术语的定义(见5.2.3,2009年版的4.2.3);
f) 更改了“聚光镜”术语的定义(见5.2.4,2009年版的4.2.4);
g) 删除了“可变气压扫描电镜(VPSEM)”和“环境扫描电镜(ESEM)”的独立术语条目(见2009年
版的4.4.3、4.4.4),其相关概念已整合至“可控气压SEM”(见5.4.5);
h) 将“气体二次电子探测器”与“环境SE探测器”术语整合后更改了定义(见5.6.2.6,2009年版的
4.6.2.8和4.6.2.6);
i) 更改了“像素”术语的定义(见6.2.4,2009年版的5.2.4);
j) 增加了“像素尺寸”的术语和定义(见6.2.5);
k) 增加了“表面倾斜衬度”的术语和定义(见6.3.9.1);
l) 增加了“边缘效应”的术语和定义(见6.3.11);
m) 更改了“猝灭”术语的定义(见7.6.10,2009年版的6.6.10);
n) 更改了“边缘宽化”术语的定义(见8.3.2,2009年版的7.3.2);
o) 增加了“二值化SEM图像”的术语和定义(见8.4)。
本文件等同采用ISO 22493:2014《微束分析 扫描电子显微术 术语》。
本文件增加“规范性引用文件”一章。
本文件做了下列最小限度的编辑性改动:
---增加了缩略语“EDX”(见第3章);
---增加了8.1的注(见8.1);
---增加了8.3的注(见8.3);
---增加了索引。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所。
本文件主要起草人:李香庭、曾毅。
本文件于2009年首次发布,本次为第一次修订。
引 言
扫描电子显微术(SEM)技术用于观察和表征金属、合金、陶瓷、玻璃、矿物、聚合物和粉体等固体材
料在微米-纳米范围内的形貌和结构。另外,应用聚焦离子束与扫描电镜分析技术能重构三维结构。
SEM技术是基于电子光学、电子散射和二次电子发射的物理机制。
SEM技术是微束分析(MBA)的一个主要分支,已广泛应用于高技术工业、基础工业、冶金和地质、
生物和医药、环境保护和商贸等领域。各技术领域的术语标准化是该领域标准化发展的先决条件之一。
微束分析 扫描电子显微术 术语
1 范围
本文件界定了扫描电子显微术(SEM)在实际应用中使用的术语。包括基础术语和按不同技术内
容分类的术语,也包括已经在ISO 23833中定义的术语。
本文件适用于所有有关SEM实际应用中的标准化文件。另外,本文件的某些术语,也适用于相关
领域的文件[例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等]。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 缩略语
CRT:阴极射线管(cathoderaytube)
EDX:能谱法(energy-dispersiveX-ray......
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