路径: 主页 > GB/T > 第527页 > GB/T 28632-2012 | 标准编号 | GB/T 28632-2012 (GB/T28632-2012) | | 中文名称 | 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy -- Determination of lateral resolution | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 23,263 | | 引用标准 | GB/T 22461-2008 | | 采用标准 | ISO 18516-2006, IDT | | 标准依据 | 国家标准公告2012年第17号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm, 小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。 | GB/T 28632-2012
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 俄歇电子能谱和
X射线光电子能谱 横向分辨率测定
(ISO 18516:2006,IDT)
2012-07-31发布
2013-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语、定义、符号和缩略语 1
4 一般信息 2
5 直边法测量横向分辨率 3
6 栅格法测量横向分辨率 8
7 金岛法测量横向分辨率 10
附录A(资料性附录) 带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14
附录B(资料性附录) 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16
附录C(资料性附录) 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17
参考文献 19
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准采用翻译法等同采用ISO 18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能
谱 横向分辨率测定》。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。
表面化学分析 俄歇电子能谱和
X射线光电子能谱 横向分辨率测定
1 范围
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边
法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于
1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇(ISO 18115:2001,IDT)
3 术语、定义、符号和缩略语
3.1 术语和定义
GB/T 22461-2008界定的以及下列术语和定义均适用本文件。
3.1.1
横向分辨率 resolution,lateral
在样品表面平面内或在与成像光轴成直角的平面内,能可信地区分确定成分改变时所测试的距离。
注1:应说明平面的选取。
注2:实际中,横向分辨率可以认识为:(i)样品上非常小的发射点发出的强度分布的半高宽(FWHM)或(i)沿着样
品上与要分辨性质有关的信号且含有意义明确的台阶函数部分进行线扫描时,强度在12%和88%两点之间
的距离,对高斯型强度分布而言,这两个值是相等的。对其他分布而言,选择其他参数也许更合适。对台阶
函数,在线扫描谱中常应用强度在20%和80%两点之间的距离或16%和84%两点之间的距离。对高斯分布
函数,后一对给出2σ宽度。
GB/T 22461-2008,定义5.255
注3:对本标准而言,首选样品的平面测量。
3.2 符号和缩略语
AES ---俄歇电子能谱;
d ---入射在样品表面上电子束(轴对称)束径;
FWHM ---最大高度一半处的全宽(简称半高宽);
XPS ---X射线光电子能谱;
χ ---横向分辨率测定所需参数;......
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