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| 标准编号 | GB/T 38940-2020 (GB/T38940-2020) | | 中文名称 | 硅组件用精密封接合金 | | 英文名称 | Precision expansion alloys for sealing to silicon and silicon components | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H58 | | 国际标准分类 | 77.140.99 | | 字数估计 | 10,124 | | 发布日期 | 2020-06-02 | | 实施日期 | 2020-12-01 | | 起草单位 | 钢铁研究总院、北京空间机电研究所、中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所、冶金工业信息标准研究院 | | 归口单位 | 全国钢标准化技术委员会(SAC/TC 183) | | 提出机构 | 中国钢铁工业协会 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 38940-2020: 硅组件用精密封接合金
GB/T 38940-2020 英文名称: Precision expansion alloys for sealing to silicon and silicon components
1 范围
本标准规定了硅组件用精密封接合金的订货内容、分类和代号、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。
本标准适用于电真空、半导体工业及其他应用环境中,与硅组件等进行键合、匹配封接的铁镍基、铁
镍钴基定膨胀封接合金棒材、扁材、箔材、带材、丝材、管材(以下简称合金材)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 222-2006 钢的成品化学成分允许偏差
GB/T 223.5 钢铁 酸溶硅和全硅含量的测定 还原型硅钼酸盐分光光度法
GB/T 223.19 钢铁及合金化学分析方法 新亚铜灵-三氯甲烷萃取光度法测定铜量
GB/T 223.20 钢铁及合金化学分析方法 电位滴定法测定钴量
GB/T 223.25 钢铁及合金化学分析方法 丁二酮肟重量法测定镍量
GB/T 223.40 钢铁及合金 铌含量的测定 氯磺酚S分光光度法
GB/T 223.60 钢铁及合金化学分析方法 高氯酸脱水重量法测定硅含量
GB/T 223.62 钢铁及合金化学分析方法 乙酸丁酯萃取光度法测定磷量
GB/T 223.64 钢铁及合金 锰含量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 223.79 钢铁 多元素含量的测定 X-射线荧光光谱法(常规法)
GB/T 223.85 钢铁及合金 硫含量的测定 感应炉燃烧后红外吸收法
GB/T 223.86 钢铁及合金 总碳含量的测定 感应炉燃烧后红外吸收法
GB/T 2970 厚钢板超声检测方法
GB/T 4162-2008 锻轧钢棒超声检测方法
GB/T 4339 金属材料热膨胀特征参数的测定
GB/T 5777 无缝和焊接(埋弧焊除外)钢管纵向和/或横向缺欠的全圆周自动超声检测
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 11170 不锈钢 多元素含量的测定 火花放电原子发射光谱法(常规法)
GB/T 14985-2007 膨胀合金尺寸、外形、表面质量、试验方法和检验规则的一般规定
GB/T 20066 钢和铁 化学成分测定用试样的取样和制样方法
GB/T 20123 钢铁 总碳硫含量的测定 高频感应炉燃烧后红外吸收法(常规方法)
GB/T 20125 低合金钢 多元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
GB/T 22368 低合金钢 多元素含量的测定 辉光放电原子发射光谱法(常规法)
GB/T 38938-2020 高强度低膨胀合金
GB/T 38939 镍基合金 多元素含量的测定 火花放电原子发射光谱分析法(常规法)
YB/T 5242 精密合金包装、标志和质量证明书的一般规定
3 订货内容
按本标准订购的合同或订单至少应包括下列内容:
a) 本标准编号;
b) 产品名称;
c) 牌号;
d) 交货状态;
e) 尺寸及允许偏差;
f) 重量或数量。
4 分类和代号
4.1 合金材按软硬程度可分为:
a) 软态(S);
b) 硬态(H)。
4.2 合金材按加工方法可分为:
a) 冷拉(WCD);
b) 冷拉磨光(WCDG);
c) 热轧(锻)态(WH)。
5 尺寸、外形和重量
合金材的尺寸、外形、重量及允许偏差应符合GB/T 14985-2007的有关规定。
6 技术要求
6.1 牌号和化学成分
合金的牌号和化学成分(熔炼分析和成品分析)应符合表1的规定。在满足本标准规定的情况下,
允许镍、钴、铌、铜的化学成分偏离表1规定,但应满足GB/T 222-2006中表3的规定。
6.2 冶炼方法
除非合同中另有规定,合金应采用真空感应炉、真空感应+电渣重熔的方式冶炼。
6.3 交货状态
6.3.1 棒材以冷拉、冷拉磨光或热轧(锻)状态交货。对热轧(锻)材表面状态有要求的,应在合同中
注明。
6.3.2 扁材以热轧(锻)状态交货。
6.3.3 丝材、带材、箔材和管材的交货状态应符合表2的规定。
6.3.4 经供需双方协商,可供其他交货状态的合金材。
6.4 平均线膨胀系数
试样按表3推荐的热处理制度处理后,合金材的平均线膨胀系数应符合表3的规定。合金材的典
型性能参见附录A。
6.5 金相组织
6.5.1 相变
4J330合金材按表3规定的热处理制度处理后,γ→α的相变温度应在-60℃以下。对于直径、边
长或厚度大于25mm的棒材,允许局部有相变存在,但相变比例不应超过检验截面的5%。
6.5.2 晶粒度
6.5.2.1 深冲带材的平均晶粒度应为7级或更细,允许粗于7级的晶粒存在,但不应超过总面积
的10%。
6.5.2.2 交货状态合金棒材、扁材的平均晶粒度应为3级或更细,相变检验合格时可不进行此项检验。
6.6 气密性
根据需方要求,直径或边长不小于15mm的棒材可进行气密性检验,应无漏气现象。
6.7 表面质量
合金材的表面质量应符合GB/T 14985-2007的有关规定。
6.8 超声检测
6.8.1 直径、边长不小于12mm的棒材应进行超声检测,合格级别应符合GB/T 4162-2008的A级
要求。
6.8.2 扁材、板材可采用GB/T 2970进行超声检测,合格级别由供需双方协商,并在合同中注明。
6.8.3 管材可采用GB/T 5777进行超声检测,也可采用其他通用无损检验方法检测。合格级别由供需
双方协商,并在合同中注明。如果出现采用不同方法引起的争议,以GB/T 5777作为仲裁依据。
6.9 特殊要求
经供需双方协商,并在合同中注明,可供应满足其他特殊要求的合金材。
7 试验方法
7.1 合金材的检验项目和试验方法应符合表4的规定。
7.2 合金的化学成分分析按 GB/T 223.79、GB/T 11170、GB/T 20123、GB/T 20125、GB/T 22368、GB/T 38939或通用的试验方法进行分析,但仲裁时应按 GB/T 223.5、GB/T 223.19、GB/T 223.20、GB/T 223.25、GB/T 223.40、GB/T 223.60、GB/T 223.62、GB/T 223.64、GB/T 223.85、GB/T 223.86的有关规定进行。
8 检验规则
8.1 检查与验收
合金材的检查和验收由供方技术质量监督部门进行。需方有权按标准规定进行检查和验收。气密
性的检验由需方进行。
8.2 组批规则
合金材应按批提交检查和验收。每批应......
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