路径: 主页 > GB/T > 第435页 > GB/T 4298-1984 | 标准编号 | GB/T 4298-1984 (GB/T4298-1984) | | 中文名称 | 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 | | 英文名称 | The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 29.040.30 | | 字数估计 | 18,144 | | 发布日期 | 3/28/1984 | | 实施日期 | 3/1/1985 | | 发布机构 | 国家标准局 | | 范围 | 本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。本标准包括杂质元素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氚子活化仪器分析方法。 | ......
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