路径: 主页 > GB/T > 第172页 > GB/T 46223-2025 | 标准编号 | GB/T 46223-2025 (GB/T46223-2025) | | 中文名称 | 微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法 | | 英文名称 | Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Method for the determination of energy resolution for electron energy loss spectrum analysis | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N33 | | 国际标准分类 | 71.040.50 | | 字数估计 | 34,393 | | 发布日期 | 2025-08-29 | | 实施日期 | 2026-03-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 46223-2025: 微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法
ICS 71.040.50
CCSN33
中华人民共和国国家标准
微束分析 分析电子显微术
电子能量损失谱能量分辨率的测定方法
(ISO 23420:2021,MOD)
2025-08-29发布
2026-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 3
5 参考物质及其能量值的测定 4
5.1 概述 4
5.2 能量标尺校准参考物质的选择 4
5.3 在XPS中测量石墨中的结合能 5
6 能量分辨率的测量程序 5
6.1 概述 5
6.2 结合能的测定 6
6.3 仪器和试样准备 7
6.4 第一能量步长(δE1)的校准 7
6.5 用能量步长δE1 测量第二参考物质靠近零损失峰的谱峰ECZLP 10
6.6 第二能量步长(δE2)的校准 11
6.7 测量校准后的能量分辨率(ΔE) 12
6.8 记录项 13
7 能量分辨率测量结果的不确定度 14
附录A(资料性) 能量分辨率的定义 15
附录B(资料性) 与XPSC1s值对应的EELS碳K边位置的确定方法讨论 16
B.1 概述 16
B.2 细则 16
附录C(资料性) 能量分辨率测定程序实例 18
C.1 概述 18
C.2 样品 18
C.3 试验条件与结果 19
参考文献 26
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件修改采用ISO 23420:2021《微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测
定方法》。
本文件与ISO 23420:2021的技术差异及其原因如下:
---增加了对XPS谱仪校准的要求(见5.3和6.2.2),以适应我国标准使用的实际情况;
---增加了电子能量损失谱采集时进行相对厚度检查的推荐值(见6.4.3和6.5.1),增强可操作性;
---删除了文中并未使用的“采集时间t”,并将表示试样厚度的符号由d 改为t(见第4章),以符
合本领域使用惯例;
---删除了文中未使用的术语“几何因子”,以符合GB/T 1.1-2020相关规定;
---删除了文中未使用或仅使用一次的CCD、CFE、CMOS、CRM、EEL、GUM、S/T EM 等缩略语
和表示采集时间的t和累加次数n等符号,以符合GB/T 1.1-2020相关规定。
本文件做了下列结构调整:
---ISO 23420:2021第5章的相关内容调整至附录A,使结构更清晰,符合中文阅读习惯;
---更改了附录的顺序,将原附录A调整至附录C,使结构更清晰,符合中文阅读习惯。
本文件做了下列编辑性改动:
---更换了附录A(现为附录C)中的能量分辨率测定程序实例,增加了电子能量损失谱采集时进
行相对厚度检查的步骤,以增加标准易用性。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:北京化工大学、中国科学院化学研究所。
本文件主要起草人:洪崧、王岩华。
引 言
电子能量损失谱仪(EELS)常配置于扫描透射电子显微镜(STEM)或透射电子显微镜(TEM)
中,通过分析入射电子的能量损失,实现对材料的化学成分、原子成键和电子结构的解析。
电子能量损失谱分析测定入射电子由于光子和等离激元的激发、带间和带内跃迁,以及内层电离等
非弹性相互作用造成的能量损失。其中,尤其有用的是内层电子的电离造成的能量损失,可以给出材料
的化学成分信息。精确的能量损失谱分析需基于谱峰分解和能量偏移的测定,为此,确定电子能量损失
谱的能量分辨率至关重要。因而,其能量分辨率的测定方法亟需标准化。
本文件提供了校准能量步长并测定能量分辨率的程序,以用于在配备有 EELS的电子显微镜设备
中进行能量损失谱分析。
微束分析 分析电子显微术
电子能量损失谱能量分辨率的测定方法
1 范围
本文件描述了配备电子能量损失谱仪(简称“能损谱仪”,EELS)的透射电子显微镜(TEM)或扫描
透射电子显微镜(STEM)中电子能量损失谱(简称“能损谱”)能量分辨率的测定程序。
本文件适用于内置型和后置型的EELS,包括采用并行检测系统和串行检测系统的谱仪。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准(ISO 15472:
2010,IDT)
GB/T 40300-2021 微束分析 分析电子显微学 术语(ISO 15932:2013,MOD)
3 术语和定义
GB/T 40300-2021界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
束直径 beamdiameter
扫描透射电子显微镜(STEM)观察时入射电子束强度曲线的半高宽(FWHM)。
3.2
伯尔施效应 Boerscheffect
由于电子束中电子之间......
|