| 标准编号 | GB/T 8758-2006 (GB/T8758-2006) |
| 中文名称 | 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 |
| 英文名称 | Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H17 |
| 国际标准分类 | 77.040.01 |
| 字数估计 | 7,738 |
| 发布日期 | 2006-07-18 |
| 实施日期 | 2006-11-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 8758-1988 |
| 标准依据 | 中国国家标准批准发布公告 2006年第8号(总第95号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准适用于砷化稼外延片外延层厚度的测量, 测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02 Ω· cm, 外延层的电阻率大于0.1 Ω·cm。 |