路径: 主页 > JJ > 第44页 > JJF 2009-2022 | 标准编号 | JJF 2009-2022 (JJF2009-2022) | | 中文名称 | 半导体参数精密分析仪校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Semiconductor Parameters Precision Analyzers | | 行业 | 计量行业标准 | | 字数估计 | 38,389 | | 发布日期 | 2022-12-07 | | 实施日期 | 2023-06-07 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 2009-2022
中华人民共和国国家计量技术规范
半导体参数精密分析仪校准规范
2022-12-07发布
2023-06-07实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
半导体参数精密分析仪
校准规范
归 口 单 位:全国无线电计量技术委员会
主要起草单位:中国电子技术标准化研究院
参加起草单位:中国计量科学研究院
中国电子科技集团公司第十三研究所
本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
徐迎春 (中国电子技术标准化研究院)
刘 冲 (中国电子技术标准化研究院)
于利红 (中国电子技术标准化研究院)
参加起草人:
高 英 (中国计量科学研究院)
乔玉娥 (中国电子科技集团公司第十三研究所)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 概述 (1)
4 计量特性 (1)
4.1 直流电流输出 (1)
4.2 直流电流测量 (1)
4.3 直流电压输出 (2)
4.4 直流电压测量 (2)
4.5 脉冲电流 (2)
4.6 频率 (2)
4.7 电容测量 (2)
5 校准条件 (2)
5.1 环境条件 (2)
5.2 测量标准及其他设备 (2)
6 校准项目和校准方法 (4)
6.1 校准项目 (4)
6.2 外观和工作正常性检查 (4)
6.3 直流电流输出 (4)
6.4 直流电流测量 (6)
6.5 直流电压输出 (7)
6.6 直流电压测量 (8)
6.7 脉冲电流 (9)
6.8 频率 (10)
6.9 电容测量 (11)
7 校准结果表达 (11)
8 复校时间间隔 (12)
附录A 原始记录格式 (13)
附录B 校准证书内页格式 (17)
附录C 主要项目校准不确定度评定示例 (21)
引 言
JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》和JJF1059.1-2012 《测量不确定
度评定与表示》共同构成支撑本规范编制工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。
半导体参数精密分析仪校准规范
1 范围
本规范适用于电压测量范围±(0.1V~3000V)、电流测量范围±(1pA~1500A)的半
导体参数精密分析仪的校准。
2 引用文件
本规范无引用文件。
3 概述
半导体参数精密分析仪 (以下简称被校仪器)主要由大功率电源/测量单元、中功
率电源/测量单元、大电流电源/测量单元、高压电源/测量单元、中电流电源/测量单
元、多频率电容测量单元、超大电流扩展器等部分组成,通过加压测流和加流测压模式
实现IV、CV曲线扫描,从而完成二极管、晶体管、场效应晶体管 (MOSFET)和绝
缘栅双极型晶体管 (IGB T)等半导体器件的击穿电压、泄漏电流、结电容等参数的精
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