路径: 主页 > SJ > 第82页 > SJ 20518-1995 | 标准编号 | SJ 20518-1995 (SJ20518-1995) | | 中文名称 | 压电器件用五氧化二钽薄膜规范 | | 英文名称 | Specification for Ta2O5 films for use in piezoelectric devices | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | G13;L21 | | 字数估计 | 9,912 | | 发布日期 | 5/25/1995 | | 实施日期 | 12/1/1995 | | 引用标准 | GB 11312-89; GB/T 12634-90; GJB 179-86; GJB 360.1-87; GJB 360.3-87; GJB 360.7-87 | | 范围 | 本规范规定了五氧化二钽(Ta(2)O(5))压电晶体膜的要求, 质量保证规定和检验方法。本规范适用于平面磁控反应性溅射法制备的M点群的五氧化二钽压电晶体膜。 | ......
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