路径: 主页 > SJ > 第80页 > SJ 20842-2002 | 标准编号 | SJ 20842-2002 (SJ20842-2002) | | 中文名称 | 砷化镓表面镓砷比的测试方法 | | 英文名称 | Test method for Ga/As ratio of surface of gallium arsenide | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | H83;L90 | | 字数估计 | 5,578 | | 发布日期 | 2002-10-30 | | 实施日期 | 2003-03-01 | | 引用标准 | SJ/T 10458-1993; SJ/T 10714-1996 | | 范围 | 本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响, 也适用于晶片加工中的各种表面处理。 | ......
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