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| 标准编号 | SJ 20843-2002 (SJ20843-2002) | | 中文名称 | 砷化镓单晶AB微缺险密度定量检验方法 | | 英文名称 | Quantitative determination of AB microscopic defect density in gallium arsenide single crystal | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | H83;L90 | | 字数估计 | 7,779 | | 发布日期 | 2002-10-30 | | 实施日期 | 2003-03-01 | | 范围 | 本标准规定了砷化镓单晶中AB微缺陷密度的定量检验方法。本标准适用于晶向为< 100> 的砷化镓单晶中AB微缺陷密度的测量。 |
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