路径: 主页 > SJ/T > 第34页 > SJ/T 10152-1991 | 标准编号 | SJ/T 10152-1991 (SJ/T10152-1991) | | 中文名称 | 集成电路主要工艺设备术语 | | 英文名称 | Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L56 | | 字数估计 | 67,667 | | 发布日期 | 4/2/1991 | | 实施日期 | 7/1/1991 | | 范围 | 本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。 | ......
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