路径: 主页 > SJ/T > 第19页 > SJ/T 11275-2002 | 标准编号 | SJ/T 11275-2002 (SJ/T11275-2002) | | 中文名称 | 卧式液相外延系统通用规范 | | 英文名称 | Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L92 | | 国际标准分类 | 29.260 | | 字数估计 | 12,138 | | 发布日期 | 2002-10-30 | | 实施日期 | 2003-03-01 | | 引用标准 | GB 191; GBN 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ/T 37-1996; SJ 1276; SJ 2573 | | 范围 | 本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备, 亦可参照执行。 | ......
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