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| 标准编号 | SJ/T 11502-2015 (SJ/T11502-2015) | | 中文名称 | 碳化硅单晶抛光片规范 | | 英文名称 | Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 20,293 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 引用标准 | GB/T 6619; GB/T 6620; GB/T 6621; GB/T 13387; GB/T 13388; GB/T 14264; GB/T 30866; GB/T 30867; GB/T 30868; SJ/T 11499; SJ/T 11500; SJ/T 11501; SJ/T 11503; SJ/T 11504 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告(2015年第28号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本规范规定了碳化硅单品抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于品型为6H和4H, 单面或双面抛光, 直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。 |
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