路径: 主页 > YS/T > 第40页 > YS/T 1825-2025 | 标准编号 | YS/T 1825-2025 (YS/T1825-2025) | | 中文名称 | 集成电路用四甲基硅烷 | | 英文名称 | (Tetramethylsilane for integrated circuit) | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H80 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 发布日期 | 2025-12-17 | | 实施日期 | 2026-07-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了四甲基硅烷的分类、技术要求、试验方 法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订 货单内容。本文件适用于集成电路行业制造中使用的四甲基硅。烷 | ......
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