| 标准编号 | GB 50472-2008 (GB50472-2008) | | 中文名称 | 电子工业洁净厂房设计规范(附条文说明) | | 英文名称 | Code for design of electronic industry clean room | | 行业 | 国家标准 | | 中标分类 | P33 | | 国际标准分类 | 91.040.20 | | 字数估计 | 175,170 | | 发布日期 | 2008-12-15 | | 实施日期 | 2009-07-01 | | 标准依据 | 住房和城乡建设部公告第200号 | | 发布机构 | 中华人民共和国住房和城乡建设部;中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计, 电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求, 并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件, 电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件, 电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外, 尚应符合国家现行有关标准的规定; | GB 50472-2008: 电子工业洁净厂房设计规范(不含条文说明)
GB 50472-2008 英文名称: Code for design of electronic industry clean room
1 总 则
1.0.1 为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
1.0.3 电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
1.0.4 电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件。
1.0.5 电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2 术 语
2.0.1 洁净室 clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2 洁净区 clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。
2.0.3 人员净化用室 room for cleaning human body
人员在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.4 物料净化用室 room for cleaning material
物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5 粒径 partical size
由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
2.0.6 悬浮粒子 airborne particles
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。
2.0.7 含尘浓度 particle concentration
单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.8 洁净度 cleanliness
以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
2.0.9 空态 as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
2.0.10 静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。
2.0.11 动态 operational
设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。
2.0.12 气流流型 air pattern
室内空气的流动形态和分布。
2.0.13 单向流 unidirectional airflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。包括垂直单向流和水平单向流。
2.0.14 非单向流 non-unidirectional airflow
凡不符合单向流定义的气流。
2.0.15 混合流 mixed airflow
单向流和非单向流组合的气流。
2.0.16 洁净工作区 clean working area
指洁净室内离地面高度0.8～1.5m(除工艺特殊要求外)的区域。
2.0.17 空气吹淋室 airshower
利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。
2.0.18 气闸室 airlock
设置在洁净室出入口，阻隔室外或相邻房间的污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2.0.19 传递窗 passbox
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。
2.0.20 洁净工作服 clean working garment
为把工作人员产生的粒子限制在最低程度所使用的发尘量少的洁净服装。
2.0.21 高效空气过滤器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.95％以上及气流初阻力在220Pa以下的空气过滤器。
2.0.22 超高效空气过滤器 (ULPA)ultra low penetration air filter
在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.9995％以上及气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。
2.0.23 微环境 minienvironment
将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空间。
2.0.24 风机过滤器机组 fan filter unit(FFU)
由HEPA或ULPA与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化的装置。
2.0.25 自净时间 cleanliness recovery characteristic
洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。
2.0.26 技术夹层 technical mezzanine
洁净厂房中以水平构件分隔构成的空间，用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。
2.0.27 技术夹道 technical tunnel
洁净厂房中以垂直构件分隔构成的廊道，用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。
2.0.28 技术竖井 technical shaft
洁净厂房中主要以垂直构件分隔构成的井式管廊，用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。
2.0.29 专用消防口 fire-firing access
消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。
2.0.30 纯水 pure water
杂质含量很少的水，其电解质杂质含量(常以电阻率表征)和非电解质杂质(如微粒、有机物、细菌和溶解气体等)含量均要求很少的水。
2.0.31 常用气体 bulk gas
电子产品生产过程中，广泛使用的氢气、氧气、氮气、氩气、氦气等气体。
2.0.32 特种气体 special gas
电子产品生产过程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性。
2.0.33 化学品 chemical
指电子产品生产过程中使用的酸、碱、有机溶剂和氧化物等。
2.0.34 防静电环境 ESD controlled environment
具有防止静电危害的特定环境，在此环境中不易产生静电或静电产生后易于泄放或消除，静电噪声难以传播。
2.0.35 表面电阻 surface resistance
在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商。
3电子产品生产环境设计要求
3.1 一般规定
3.1.1 电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。
3.1.2 生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求，对电子产品生产过程需用的包括化学品、常用气体和特种气体、纯水等各种介质的质量进行控制。
3.1.3 洁净室(区)内产品生产过程所使用的工具、器具和物料储运装置，其制作的材质和清洁方式应按生产工艺要求选择。
3.1.4 洁净室(区)的空气洁净度等性能测试和认证应符合本规范附录D的要求。
3.2 生产环境设计要求
3.2.1 洁净室(区)的空气洁净度等级应按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定执行。
洁净室(区)设计时，空气洁净度等级所处状态(空态、静态、动态)应与业主协商确定。
3.2.2 各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定；无要求时，可按本规范附录A确定。
3.2.3 洁净室(区)的温度和相对湿度应按表3.2 3确定。
3.2.4 各类电子产品生产所需纯水水质、气体及化学品的纯度和杂质含量等应根据生产工艺要求确定。
3.2.5 单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A)，非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
3.2.6 洁净室(区)的微振动控制设计应满足精密设备、仪器的振动容许值要求。无要求时，可按本规范附录C或根据其工作特性确定。
4总体设计
4.1 位置选择和总平面布置
4.1.1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求经技术经济比较后确定：
1 应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域；
2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时，则应位于全年最小频率风向下风侧；
3 在厂区内应布置在环境清洁、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 洁净厂房净化空调系统的新风口与城市交通干道之间的距离(相邻侧边沿)宜大于50m。当洁净厂房与交通干道之间设有城市绿化带时，可根据具体条件适当减少，但不得小于25m。
4.1.3 对于有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源和模拟振源的影响，并应与容许振动值比较分析后确定。
4.1.4 厂区总平面布置时，应按洁净生产、非洁净生产、辅助生产、公用动力系统和办公、生活等功能区合理布局。
洁净厂房宜根据电子产品生产工艺特点和各种功能区的要求，按组合式、大体量的综合性厂房布置。
4.1.5 洁净厂房周围及其周边的道路面层，应选用整体性能好、发尘少的材料。
4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化，但不宜种植对生产环境和产品质量有影响的植物。
4.1.7 洁净厂房宜设置环行消防车道，若有困难时可沿厂房的两长边侧设消防车道。消防车道的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
4.2 洁净室型式
4.2.1 洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。
4.2.2 电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。
4.2.3 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。
4.3 洁净室布置和综合协调
4.3.1 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区，并应符合下列要求：
1 洁净室(区)人员净化、物料净化和各种辅助用房，应合理分区布置；
2 生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房间；
3 生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔；
4 发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置；
5 洁净室(区)的辅助设备、维修间等技术支持区，宜集中布置在洁净室(区)的相邻房间，技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室(区)的等级；
6 若需在洁净室(区)内设置洁净电梯时，应采取气闸间、洁净送风措施；
7 应符合有关防爆、防火、消防等要求。
4.3.2 洁净室(区)的空间布置应满足下列要求：
1 生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置，并应做到有效、灵活和操作方便；
2 各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求；
3 终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置，应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求；
4 洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。
4.3.3 洁净室(区)内应少分隔，但下列情况应予分隔：
1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙；
2 在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之间；
3 生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备，宜分隔设独立房间。
4.3.4 洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要。
5 工艺设计
5.1 一般规定
5.1.1 洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预留必要的条件。
5.1.2 洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子产品生产要求的前提下，应做到安全性能好、建设投资少、能量消耗少、运行费用低、生产效率高。
5.1.3 洁净厂房工艺设计应根据产品生产工艺和空气洁净度等级要求设置人流路线、物料运输和仓储设施。
5.2 工艺布局
5.2.1 洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。
在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。
5.2.2 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并应在各自的入口处设置相应的净化设施。
5.2.3 在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下，空气洁净度严格的洁净室(区)宜靠近空调机房布置；空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。
5.2.4 洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出入口和可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。
5.2.5 工艺布置时，应根据大型生产工艺设备的运输、安装、维修的要求设置运输通道、安装口或检修口。
5.2.6 洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间联系频繁时，应采取防止污染的措施。
5.3 人员净化
5.3.1 人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净度等级设置，并应设置生活用室。人员净化用室宜按图5.3.1的人员净化程序进行布置。
5.3.2 人员净化用室，应根据换鞋(净鞋)、更外衣、更洁净工作服等的需要设置。雨具存放、厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间及干燥间等其他用室，可根据需要设置。
5.3.3 洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积，应根据洁净室的规模、空气洁净度等级和洁净室内工作人员数量等确定，宜按洁净室(区)内设计人数平均2～4m2／人计算。
5.3.4 人员净化用室和生活用房的设置，应符合下列规定：
1 净鞋设施应设在洁净室入口处；
2 更换外衣和更换洁净工作服用室不应设置在同一房间内；
3 外衣存放柜应按洁净室(区)内设计人数配置；
4 应设置存放洁净工作服，且带有空气净化的存衣设施；
5 应设置感应式洗手和烘干设施；
6 厕所宜设在进入人员净化用室之前，需设在人员净化用室内时，应设置前室。
5.3.5 洁净厂房空气吹淋室的设计，应符合下列要求：
1 在洁净室(区)的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
2 吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位；
3 单人空气吹淋室，应按最大班人数每30人设一台。洁净室(区)工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
4 空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
5 空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区)，宜设气闸室。
5.3.6 人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级，宜由外至内逐步洁净，室内可送入经过高效空气过滤的洁净空气。
洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室(区)的空气洁净度等级；当设有洁净工作服洗涤室时，洗涤室的空气洁净度等级宜为8级。
5.4 物料净化
5.4.1 洁净室(区)内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应物净设施。
5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。
5.5 设备及工器具
5.5.1 洁净室(区)内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅助生产设备，并应符合下列要求：
1 表面应光洁、易清洁、不积尘、不挥发化学物质；
2 设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油、冷却剂等的泄漏；
3 对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备，应采取防扩散措施；
4 设备的金属外壳应设置接地设施。
5.5.2 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室(区)时，宜采取密封隔断措施。
5.5.3 洁净室(区)内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时，应采取隔声措施。
5.5.4 洁净室(区)应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施。
5.5.5 洁净室(区)内，电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送，宜采用专用容器。用于存放和传送的专用容器，应符合下列规定：
1 制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发污染物、防静电，并在空气中不应被氧化；
2 应密封性能好；
3 当存放物有严格的洁净度要求时，宜充填高纯度或干燥氮气；
4 构造、外形应满足生产工艺要求，并应方便操作和运送。
5.5.6 洁净室(区)内设置真空泵时，应符合下列规定：
1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统；
2 对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的20％时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分；
3 传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。
6洁净建筑设计
6.1 一般规定
6.1.1 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。
6.1.2 洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不应采用内墙承重体系。
6.1.3 洁净厂房的立面设计应简洁、明快，并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。
6.1.4 洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。
6.1.5 设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造，应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。
6.1.6 设有技术夹层、技术夹道的洁净厂房，技术夹层、技术夹道的建筑设计应满足各种风管和各种动力管线安装和维修的要求。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。技术竖井的形式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求。
6.1.7 对兼有一般生产区和洁净室(区)的综合性厂房，厂房的平面布局和构造处理，宜避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产环境带来不利影响。
6.1.8 洁净厂房内的通道宽度应满足人员操作、物料运输、设备安装和检修的要求。
6.2 防火和疏散
6.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
6.2.2 洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。火灾危险性分类举例见本规范附录B。
6.2.3 洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室(区)，在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01％obs／m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。
6.2.4 洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同一防火分区时，上下技术夹层的面积可不计入防火分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。
6.2.5 洁净室的顶棚和墙板、技术竖井井壁的材质选择，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定：
1 每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定；
2 安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗；
3 丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01％obs／m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。
注 对于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD厂房，且洁净生产区人员密度小于0.02人／m2，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大于120m。
6.2.8 洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口，并应符合下列规定：
1 洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定；
2 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗，均不应作为专用消防口。
6.2.9 洁净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置，且不得与疏散安全口(楼梯间)贴邻。有爆炸危险的房间的防爆措施、泄爆面积等应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
6.3 室内装修
6.3.1 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB ／T8627的有关规定。
6.3.2 洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求；
1 应满足使用功能的要求，且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁，并应减少凹凸面；
2 当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。
6.3.3 洁净室楼地面设计应符合下列要求
1 应满足电子产品生产工艺和设备安装要求；
2 应平整、耐磨、易清洁、不易积聚静电、避免眩光、不开裂、耐撞击等；
3 地面宜配筋，并应做防潮构造。
6.3.4 洁净厂房技术夹层的墙壁和顶栅应满足使用功能要求，且表面应平整、光滑。位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。
6.3.5 当洁净厂房设置外窗时，应采用双层固定窗，并应有良好的气密性，同时应采取防结露措施。
6.3.6 洁净室(区)门窗、墙壁、顶棚、地面、楼面的设计应符合下列要求：
1 应满足使用功能的要求，构造和施工缝隙应采取密闭措施；
2 顶棚以上的技术层或技术夹层宜设检修通道；
3 洁净室(区)不宜设窗台；
4 当地面采用活动地板时，活动地板材质和支撑方式应根据电子产品生产工艺要求选择。
6.3.7 用于电子产品生产的洁净室(区)的墙板和顶棚，宜采用轻质壁板构造。
7 空气净化和空调通风设计
7.1 一般规定
7.1.1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。
7.1.2 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。
7.1.3 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置：
1 运行班次或使用时间不同；
2 生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康、安全有影响；
3 对温、湿度控制要求差别大；
4 洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊；
5 净化空调系统与一般空调系统；
6 系统风量过大的净化空调系统。
7.1.4 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合本规范第3.2.3条的规定。
7.1.5 洁净室(区)内的新鲜空气量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
7.1.6 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：
1 各洁净室(区)与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定；
2 不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大于等于5Pa；
3 洁净室(区)与非洁净室(区)之间的静压差应大于5Pa；
4 洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。
7.1.7 洁净室(区)维持静压差值所需的压差风量，宜采用缝隙法或换气次数法确定。
7.1.8 送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
7.1.9 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化处理。
7.1.10 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定。洁净室(区)宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。
7.2 气流流型和送风量
7.2.1 气流流型的设计，应符合下列要求：
1 气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流；空气洁净度等级为6～9级时，宜采用非单向流；
2 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。
7.2.2 洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
7.2.3 洁净室(区)所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和气流流型，宜按表7.2.3计算。
7.3 净化空调系统
7.3.1 洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。
净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区)面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统，
7.3.2 洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室(区)使用功能和降低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。
7.3.3 净化空调系统新风的室外吸入口位置，应远离本建筑或其他建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。
7.3.4 多套净化空调系统同时运行或较大型电子工业洁净厂房的净化空调系统的新风，应集中处理。
7.3.5 净化空调系统设计应合理利用回风，但下列情况不得回风：
1 在生产过程中向车间内散发的有害物质超过规定时；
2 采用局部处理不能满足卫生要求时；
3 对其他工序有危害或不能避免交叉污染时。
7.3.6 净化空调系统需设置电加热时，应选用不产尘的电加热器，且应布置在高效过滤器的上风侧，并应采取安全保护措施。
7.3.7 净化空调系统的电加湿器应采取安全保护措施。
7.3.8 根据气象条件，存在冷冻可能的地区，新风系统应采取防冻保护措施。
7.4 空气净化设备
7.4.1 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：
1 空气过滤器应根据空气洁净度等级选用；
2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量；
3 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段；
4 高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端；超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端；
5 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近；
6 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近；
7 对化学污染物有控制要求的洁净室(区)，在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置；
8 高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。
7.4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求：
1 应根据空气洁净度等级和送风量选用；
2 应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置；
3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定；
4 送风量应能调节；
5 应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时，外壳强度应满足检修要求。
7.4.3 层流罩的设置应符合下列要求：
1 洁净室(区)内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩；
2 层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用；
3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定；
4 安装方式不应影响生产操作。
7.4.4 微环境装置的设置应符合下列要求：
1 当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对湿度有较高要求，且所控区域不大时，宜采用微环境装置；
2 微环境装置宜与生产工艺设备配套；
3 在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性，内外表面应平整、光滑；
4 围挡构造、材料的选用应方便生产操作。
7.4.5 干表冷器的设置应符合下列要求：
1 安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定；
2 迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定；
3 冷冻水进水温度，宜高于洁净室(区)内空气的露点温度；
4 应设置排水设施。
7.4.6 净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要求：
1 应有良好的气密性，漏风率不得大于1％；
2 整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑，外表面不应结露；
3 布置应整齐，并应便于运行和维修；当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时，宜选用相同规格的空气处理机组；
4 送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时，中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；
5 应设置排水装置。
7.5 采暖、通风
7.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散热器采暖。
7.5.2 洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，应设置局部排风装置，排风罩宜为密闭式。局部排风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
7.5.3 洁净室(区)的排风系统设计，应符合下列要求：
1 应防止室外气流倒灌；
2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆措施；
3 局部排风系统排出的有害气体，当其有害物质浓度超过排放标准时，应采取有效处理措施。排气管高度和排放速率应满足国家现行有关排放标准的规定；
4 对含有水蒸气或凝结物质的排风系统，应设置坡度及排放口；
5 排风介质中含有剧毒物质时，应设置备用排风机和处理设备，并应设置应急电源；
6 排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，应设置备用排风机，并应设置应急电源；
7 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，其风量应按在正常运行和事故情况下，风管内爆炸危险气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20％计；
8 排除有爆炸危险气体和粉尘的局部排风系统，应设置消除静电的接地装置。
7.5.4 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路，应保持相对于路由区域一定的负压值。
7.5.5 净鞋室、更外衣室、盥洗室和厕所等生产辅助房间，应采取通风措施。
7.5.6 洁净室(区)事故排风系统的设计，应符合下列规定：
1 事故排风区域的换气次数不应小于12次／h；
2 应设置自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设置在洁净室(区)和洁净室(区)外便于操作的地点；
3 应设置应急电源。
7.6 排烟
7.6.1 洁净厂房中的疏散走廊，应设置机械排烟设施。
7.6.2 洁净厂房排烟设施的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。当同一防火分区的丙类洁净室(区)人员密度小于0.02人／m2，且安全疏散距离小于80m时，洁净室(区)可不设机械排烟设施。
7.6.3 机械排烟系统宜与通风、净化空调系统分开设置；当合用时，应采取防火安全措施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
7.6.4 机械排烟系统的风量、排烟口位置、风机的设置，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
7.7 风管、附件
7.7.1 净化空调系统的新风吸入管应设置防倒灌装置；送、回风管宜设置调节阀。
7.7.2 净化空调系统风管的防火阀的设置，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道，不得设置熔片式防火阀。
7.7.3 净化空调系统的风管、配件、过滤器以及密封材料等，应根据输送空气的洁净度要求确定，并不得采用释放对电子产品有影响物质的材料。
7.7.4 洁净室(区)内排风系统的风管、阀门、附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的物理化学性质及其所处的空气环境条件确定，并不得与所输送介质发生化学反应或引起安全事故的发生。
7.7.5 净化空调系统的送、回风总管上，应采取消声措施，并应满足洁净室(区)内噪声控制的要求。洁净室(区)排风系统，应采取消声措施，并应满足室内外噪声标准的要求。
7.7.6 在集中设置的空气过滤器的前后，应设置测压孔或指针式压差计。在新风管、送风、回风总管段上，应设置风量测定孔。
7.7.7 风管附件及辅助材料的防火性能，应符合下列规定：
1 净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料制作，但接触腐蚀性介质的风管和柔性接头可采用难燃防腐材料制作；
2 排烟系统的风管应采用不燃材料制作；
3 附件、保温材料和消声材料等均应采用不燃材料或难燃材料。
8 给水排水设计
8.1 一般规定
8.1.1 洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，并宜敷设在通行的技术夹层内。条件合适时，也可埋地敷设。洁净室(区)内管道宜暗装，与本房间无关的管道不应穿过。
8.1.2 穿过洁净室的水管道，应根据管内水温和所在房间的温度、湿度确定隔热防结露措施。当采取隔热防结露措施时，其外表面应光滑、平整。
8.1.3 给水排水管道穿过洁净室(区)墙壁、楼板和顶棚时应设置套管，管道和套管之间应采取密封措施。
8.2 给水
8.2.1 洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷却水)对水质、水温、水压、水量的要求确定，宜按生产、生活、消防分别设置独立的给水系统。
8.2.2 当设有危险化学品储存和分配室时，应根据化学品的物理化学性能和人身安全的要求，设置紧急淋浴器和洗眼器，其给水管道应环形敷设布置。
8.2.3 给水管道的管材及附件的选择，应符合下列要求：
1 给水系统的管材和附件的选用，应满足生产工艺和系统工作参数的要求；
2 埋地管道应耐腐蚀，并应具有承受相应地面荷载的能力；
3 生产设备循环冷却水给水和回水管道，应按生产工艺和水质要求，采用不锈钢管、钢塑管、塑料管等，不宜采用焊接钢管；
4 阀门及附件应采用与管材相同的材质。
8.3 排 水
8.3.1 生产、生活排水系统应分别设置。生产排水系统应根据电子产品生产设备排出的废水性质、污染物浓度和水量等特点确定。有害废水应经废水处理达到国家或地方排放标准后排放。
8.3.2 洁净室(区)内与电子产品生产设备相连接的重力排水管道，应在排出口以下部位设......
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