| 标准编号 | GB 50646-2020 (GB50646-2020) | | 中文名称 | 特种气体系统工程技术标准(附条文说明) | | 英文名称 | (Special gas system engineering technical standards (with text description)) | | 行业 | 国家标准 | | 中标分类 | P82 | | 字数估计 | 151,129 | | 发布日期 | 2020-02-27 | | 实施日期 | 2020-10-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国住房和城乡建设部;国家市场监督管理总局 | GB 50646-2020: 特种气体系统工程技术标准(不含条文说明)
GB 50646-2020 英文名称: (Special gas system engineering technical standards (with text description))
1总则
1.0.1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。
1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。
1.0.3 本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。
1.0.4 特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1 特种气体 specialty gas
电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
2.0.2 自燃性气体 pyrophoric gas
也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54°C时可能自燃的易燃气体。
2.0.3 易燃性气体 flammable gas
一种在20℃和标准压力101.3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。
2.0.4 剧毒性气体 highly toxic gas
半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m³的气体。
2.0.5 毒性气体 toxic gas
半致死浓度(空气中吸入4h)大于100mL/m³但不超过2500mL/m³的气体。
2.0.6 腐蚀性气体 corrosive gas
对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。
2.0.7 氧化性气体 oxidizing gas
一般通过提供氧气，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。
2.0.8 惰性气体 inert gas
在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。
2.0.9 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas
在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa 的气体。
2.0.10 特种气体系统 specialty gas system
特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和附件的总称。
2.0.11 大宗硅烷系统 bulk silane system
是指包括ISO标准集装瓶组、长管拖车、钢瓶集装格、Y型卧式钢瓶，或总的水容积超过250L的硅烷系统。
2.0.12 大宗特种气体系统 bulk specialty gas system
一般指单个气体设备容积大于400L的特种气体储存和送气系统。
2.0.13 液态特种气体系统 liquid specialty gas system
是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。
2.0.14 气体探测系统 gas detector system(GDS)
设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供探测数据的系统。
2.0.15 气体管理系统 gas management system(GMS）
包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称。
2.0.16 生产区 fabrication area
电子生产厂房内布置生产设备及相关的研发、测试的区域，有些生产过程将使用危险性生产材料，该区域为生产厂房的核心区域。
2.0.17 特种气体间 specialty gas room
电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向生产设备输送特种气体的房间。
2.0.18 特种气体站 specialty gas station
电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、IS0标准集装瓶组、长管拖车、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向用生产厂房气设备输送特种气体的独立建(构)筑物。
2.0.19 特种气体站房 specialty gas station and room
是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称。
2.0.20 硅烷站 silane station
是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、卧式钢瓶、长管拖车或ISO标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建(构)筑物或区域。
2.0.21 气瓶集装格the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。
2.0.22 ISO标准集装瓶组 ISO module
采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块。
2.0.23 气瓶柜 gas cabinet(GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。
2.0.24 气瓶架 gas rack(GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。
2.0.25 阀门箱 valve manifold box(VMB）
特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。
2.0.26 阀门盘 valve manifold panel(VMP)
特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。
2.0.27 尾气处理装置 local scrubber
自燃性、易燃性、剧毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。
2.0.28 卧式气瓶 horizontal cylinder
用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为450L、950L。
2.0.29 限流孔板 restrict flow orifice（RFO)
限定流体系统最大流量的一种装置。
2.0.30 过流开关 excess flow switch(EFS)
流体系统的流量超出设定值时，给出开关信号。
2.0.31 负压气源 sub一atmospheric gas source(SAGS)
1型:在标准温度和压力下，钢瓶内和阀门出口均为负压的气源。
2型:在标准温度和压力下，钢瓶内为正压，阀门出口为负压的气源。
2.0.32 不相容性 incompatible
不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。
2.0.33 吹扫 purge
用氮气或惰性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置换的过程。
2.0.34 排气 vent
特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。
2.0.35 气体面板 gas panel
集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件的专用设施。
2.0.36 半致死浓度 lethal concentration 50(LC50)
在空气中使健康的成年大白鼠连续吸入1h，能引起受试白鼠在14d内死亡一半的气体的浓度。
2.0.37 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL)
易燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。
2.0.38 最高允许浓度值threshold limit value(TLV)
毒性气体在空气中的浓度小于该值时，充分且持续暴露于该环境中的作用人员的健康不会受到损害。
2.0.39 最高允许浓度值一时间加权平均允许浓度 limit value-time weighted average(TLV-TWA)threshold
作业人员按每天8h，每周5d工作制工作，健康不会受到损害的毒性气体时间加权平均浓度。
3特种气体站房
3.1 一般规定
3.1.1 特种气体站房应布置在独立的建(构)筑物或生产厂房的特种气体间内。
3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格等向生产设备供应特种气体。
3.1.3 布置在单独建(构)筑物的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、ISO标准集装瓶组、长管拖车等向生产设备供应特种气体。
3.1.4 布置在生产区的特种气体设备应符合下列规定：
1 特种气体的最大允许使用储存量应符合表3.1.4的规定；
2 特种气体应设置气瓶柜、排风装置；
3 生产区应设置自动消防喷淋系统，并应用防火隔墙与其他区域相互隔离；当特种气体的使用储存量超过表3.1.4规定的数量时，应设置特种气体间。
表3.1.4 生产厂房生产区最大允许使用储存量
注：气体总量为标准状态下的气体体积量。
3.1.5特种气体间的设计应符合下列规定：
1 特种气体间应设置排风系统，并应按负压设计；
2 特种气体间应采用防火隔墙相互隔离；
3 特种气体间的设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。
3.1.6 当生产厂房内的自燃性特种气体的储存量超过57m³时，应设置独立的特种气体站。
3.1.7 生产厂房内生产区的低蒸汽压力特种气体设备宜靠近生产设备布置。
3.1.8 特种气体间应集中布置在生产厂房一楼或其他辅助楼层，位置宜靠外墙。
3.1.9 特种气体间的附近区域宜布置货运通道、货运电梯等运输设施。
3.2 特种气体站房布置
3.2.1 特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计。
3.2.2特种气体站房的生产的火灾危险性类别应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
3.2.3 生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为易燃性气体间、毒性(腐蚀性)气体间、惰性(氧化性)气体间、剧毒性气体间等。
3.2.4 独立的特种气体站根据气体种类、兼容性等因索应分为不同种类的特种气体间。
3.2.5 大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，不得布置在地下室。开敞式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面，且墙体与墙体之间、墙体与屋顶结构之间应设置自然通风的空间。硅烷容器与四周障碍物的最小距离小于障碍物高度的2倍时，大宗硅烷系统应设置机械通风。
3.2.6 硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置 2h以上的防火隔断。
3.2.7 硅烷气瓶柜内的硅烷钢瓶应固定在钢架上，两个钢瓶之间应采用钢板隔离，钢板厚度应大于或等于6mm。
3.2.8 非大宗硅烷系统气体设备可放置在室内，不得建在地下室。
3.2.9 布置在开敞式建筑中的大宗硅烷站应在设备区域设置防雨防晒措施。
3.3 特种气体设备布置
3.3.1 不相容特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置在同一房间时，气瓶架之间的距离应大于6m。
3.3.2 同时具有易燃性和毒性气体的设备应放在易燃性气体间。
3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等设备宜靠墙布置，具有相同或相近性质的气体设备应布置在一起。
3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于2m，特种气体设备的布置应预留满足设备运输、维修与操作、安全逃生的空间。
3.3.5 液化特种气体设备和系统应根据其气体特性设置加热装置。
3.3.6 液化特种气体设备应设置不同种类的磅秤装置。
3.3.7 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。
3.3.8 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的技术防范设施。
3.3.9 特种气体站房内特种气体生产储量达到重大危险源的数量时，设计应符合现行国家标准《危险化学品重大危险源辨识》GB18218的有关规定。
3.3.10 特种气体系统的电气控制室的设计应符合下列规定：
1 电气控制室应布置在与特种气体间相邻的控制室内；
2 电气控制室应以耐火极限不小于3.0h的隔墙和不低于1.50h的楼板与特种气体间隔开，穿越隔墙的管道孔隙应以防火材料填堵。
4特种气体工艺系统
4.1 一般规定
4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置：
1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格、卧式气瓶、长管拖车；
2 气体分配用阀门箱、阀门盘；
3 辅助氮气吹扫系统；
4 尾气处理装置。
4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。
4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。
4.1.4 不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。
4.2 特种气体输送系统
4.2.1 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定：
1 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置；
2 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；
3 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板；
4 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实；
5 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h；
6 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；
7 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2.5mm,并应有防腐蚀涂层；
8 气瓶柜门应具备自动关闭功能，并应配备防爆玻璃观察窗；气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求；
9 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌；
10 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准(爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058 的有关规定。
4.2.2 特种气体的气瓶柜、气瓶架的气体面板设置应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶；
2 气瓶压力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关；
3 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀；
4 气体面板应设置工艺气体排气口。
4.2.3 可燃和自燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定：
1 当硅烷气瓶使用直径0.25mm限流孔时，气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，当使用直径0.15mm 限流孔时，气瓶柜的排风换气次数不得低于400次/h，且气瓶柜的负压应连续监控；
2 白燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；
3 易燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统；
4 自燃性特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。
4.2.4 大宗特种气体系统应符合下列规定：
1 应设置独立气瓶储罐或长管拖车等的压力指示或钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜等装置；
2 大宗特种气体系统的功能配备应符合本标准第4.2.1条的有关规定；
3 液态气体瓶应设计钢瓶加热与保温装置；
4 减压降温效应显著的气体，应在减压前对气体进行预热。
4.2.5 液态特种气体系统的设置应符合下列规定：
1 应设置独立的液体槽罐、液体输送柜、连接回型管、驱动气体单元、吹扫氮气单元、电气控制柜、重量计量等装置；
2 液态特种气体系统宜利用驱动气体压力将液态特种气体从槽罐输送至液态特种气体柜，或从液态特种气体柜直接驱动输送至用气工艺设备，液态特种气体亦可采用泵送；
3 用气点应设置鼓泡器或蒸发器，将液态特种气体鼓泡或直接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备；
4 液态特种气瓶柜功能设置应符合本标准第4.2.1条的有关规定；
5 具有自燃性和遇水反应性的金属有机物前驱体液体，供应柜应设置相应灭火系统；底部应设置收集槽，并应放置吸附材料。
4.2.6 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置应符合下列规定：
1 应设置进气管路隔离阀及压力指示装置；
2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器；
3 气体支路应设有独立的出口隔离阀；
4 气体分支路应设置独立的吹扫气体装置。
4.2.7 惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列规定：
1 应设有进气管路隔离阀及压力指示装置：
2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器；
3 气体支路应设有独立出口隔离阀门。
4.2.8 负压气源特种气体的气瓶柜、气瓶架的设置应符合负压气源特种气体的特性。
4.3 吹扫和排气系统
4.3.1 特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连；
2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源；
3 吹扫气体管线应设置止回阀。
4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。
4.3.3 特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定：
1 真空发生器宜采用氮气作为引射气源；
2 抽真空用氮气可由公用普通氮气供给；自燃性和腐蚀性气体，氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀。
4.3.4 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定：
1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置；
2 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理，处理后的气体应符合现行国家废气排放要求。
4.3.5 特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定：
1 尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置；
2 尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备布置；
3 特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附、湿式洗涤、加热分解、燃烧、等离子分解、稀释及以上几种处理方式的组合。
4.4 硅烷工艺系统
4.4.1 硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定：
1 硅烷站的规模；
2 硅烷的物理化学性质；
3 当地硅烷供应的充装、运输状况；
4 用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。
4.4.2 硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接管道。
4.4.3 硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的功能。
4.4.4 硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。
4.4.5 硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4.2.6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置、气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器。
4.4.6 硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定：
1 硅烷系统的排气管不得接入排风系统；
2 排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。
4.4.7 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。
4.4.8 硅烷系统阀门、附件的设置应符合下列规定：
1 硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀、隔膜阀、调压阀；
2 硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板：
3 硅烷系统应配置过流开关、紧急切断阀，调压阀的加热装置应根据流量核算确定。
5生命安全系统
5.1 特种气体管理系统
5.1.1 应用多种特种气体的生产厂房宜设特种气体管理系统，并应符合下列规定：
1 特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警的功能，并应能记录、存储和打印；
2 特种气体管理系统宜为独立的系统，应具有特种气体探测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能；
3 特种气体管理系统宜与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通过数据总线相连。
5.1.2 特种气体管理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控制室和应急处理中心宜设特种气体报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘。
5.1.3 特种气体气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘的可编程控制器的通信接口应与气体管理系统连接。
5.2 特种气体探测系统
5.2.1 储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置：
1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；
2 生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处；
3 生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处；
4 惰性气体间可能产生窒息的区域；
5 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；
6 其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境。
5.2.2 易燃性、自燃性特种气体探测系统、有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警。
5.2.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置报警设定值应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25%易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50%易燃性气体爆炸浓度下限值；
2 剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于 50%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值不应大于100%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)；
3 设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值不应小于18%氧气体积浓度(V/V)；
4 二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器，其报警设定值应为5000ppm。
5.2.4 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于 15s；
2 剧毒性、毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s，吸入式应小于20s；
3 氧气检测报警采用扩散式应小于20s，吸入式应小于15s。
5.2.5 当特种气体相对密度小于或等于0.75时，特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体相对密度大于0.75 时，特气体探测器应设置在释放源下方离地面0.3m~0. 5m处。
5.2.6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁；硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm，环境气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。
5.2.7 有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置，当无对应侦测器时，应根据其分解物选择侦测器。
5.3 其他安全设施
5.3.1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体的储存、分配及使用场所的安全设施应符合下列规定：
1 应设置数字式视频监控摄像机和门禁；
2 生产厂房入口处、气瓶柜间入口处、洁净室内宜设置安全管理显示屏；
3 使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置，灯光颜色应与其他灯光报警装置相区别；
4 入口处应设紧急手动按钮，应急处理中心室也应设紧急手动按钮；
5 用于自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体的储存、分配及使用场所的监控视频图像宜预留通过网络接入政府安全监督、管理部门的接口，且监控视频图像存储时间不应低于30d。
5.3.2 在地震多发地区，使用特种气体的主要生产车间宜设置地震探测装置，地震探测信号应与特种气体探测系统相连。
5.3.3 特种气体站房内应在气瓶柜的基座上设置一台地震探测装置，并应以气体站房为基准点，等距离三角形延伸厂区内另外两点设置地震探测装置。地震探测装置不得设置于人员进出频繁的地点，并应避免受外力干扰而造成误动作。
5.3.4 封闭的自燃性、易燃性气体的特种气体间宜设置防爆紫外、红外火焰探测器。
5.3.5 特种气体站房应配置防毒面具、自给式呼吸器等安全防护设施。
5.3.6 特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标。
5.4特种气体报警的联动控制
5.4.1 特种气体探测系统在确认气体泄漏时，应自动关闭相关部位的气体切断阀，并应接受反馈信号，特种气体站房的事故通风装置应与其气体泄漏和气体切断信号联锁。
5.4.2 特种气体探测系统确认气体泄漏时，应自动启动泄漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警装置，并应自动启动应急广播系统。
5.4.3 特种气体探测系统确认气体泄漏后，应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自动释放门禁，可联动闭路电视监控系统，应启动相应区域的摄像机，并应自动录像。
5.4.4 地震探测装置探测到里氏5级以上地震，且两台地震探测装置同时报警时，特种气体管理系统确认收到的信号后，应启动现场的声光报警装置;同时，应关闭气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘的切断阀门。
5.4.5 室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外、红外火焰探测器;室内硅烷输送系统应采用火焰探测器或感温探测器。
6特种气体管道输送系统
6.1 一般规定
6.1.1 特种气体管道输送系统应包括特种气体储存、分配管道系统、工艺设备和尾气处理系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压装置、压力释放装置、压力监测装置等部件。
6.1.2 生产厂房内特种气体管道的主干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内;当与水电管线共架时，特种气体的管道宜设在水、电管线上部。
6.1.3 生产厂 房洁净室内的自燃性、易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并应采用焊接。
6.1.4 特种气体穿过生产区墙壁 与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。易燃性、毒性、腐蚀性特种气体管道的机械连接处，应置于排风罩内。
6.1.5 自燃性、易燃性、毒性特种气体管道应避免穿过不使用此类气体的房间，当必须穿过时应设套管或使用双层管。
6.1.6 特种气体管道不宜出现盲管及U形弯等死区。
6.1.7 易燃性、氧化性特种气体管道，应设置防静电接地。
6.1.8 室外布 置的特种气体管道宜架空布置。
6.2 材料选型
6.2.1 特种气体管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。
6.2.2 腐蚀性气体管道，宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。
6.2.3 特种气体阀门的密封座材质应与气体性质匹配。
6.2.4 双层管的外层管道宜采用不锈钢管道，内层管道应按所输送特种气体的性质匹配。
6.2.5 特种气体系统的排气、尾气真空管道宜采用普通不锈钢管道，并应经过脱脂处理。
6.2.6 氧化性气体系统应采用专用禁油阀门、附件和管材，并应进行脱脂处理。
6.2.6 本条为强制性条文，必须严格执行。为避免管道内油脂与氧化性介质发生反应，产生燃烧等严重后果，本条规定管道氧化性气体管道应经过严格的脱脂处理。
6.3 管道设计
6.3.1 特种气体管道的设计应根据输送流体的特性参数，并结合管道布置、环境等进行，并应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。
6.3.2 特种气体管道的设计应符合用气设备对流量、压力的要求，并应符合现行行业标准《化工装置工艺系统工程设计技术规定》HG/T 20570的有关规定。
6.3.3 管材的壁厚应符合现行国家标准《流体输送用不锈钢无缝钢管》GB/T 14976的有关规定。
6.3.4 液态特种气体水平管道的坡度不应小于0.3%，坡度应坡向供液设备或收集器。
6.3.5 具有自燃性、剧毒性、强腐蚀性的特种气体，宜采用双套管设计。
6.3.6 低蒸汽压特种气体的管道应设置伴热和保温措施，加热温度不宜超过50℃。
6.3.7 特种气体管道宜采用全自动轨道焊接。阀件或管件连接处应采用径向面密封连接，不宜采用螺纹或法兰连接。
6.3.8 特种气体阀门应采用隔膜阀或波纹管阀。
6.3.9 特种气体管道连接用密封垫片宜选用不锈钢或镍垫片，垫片的材质与特种气体的性质应相容。
6.3.10 特种气体输送系统易产生颗粒的阀件下游宜安装过滤器。
6.4 管道标识
6.4.1 特种气体管道应进行管道标识。
6.4.2 特种气体管道应以不同颜色、字体等标识气体名称、主要危险特性和流向，并应符合表6.4.2的规定。
表6.4.2 特种气体管路标识要求
6.4.3 管道标识的描述、顺序和间距可根据实际情况进行调整，描述宜为内容物化学分子式、中文名、主要危险特性、流动方向(图6.4.3)。
图6.4.3 管道标识
6.4.4 标识的尺寸应按管径确定，并应符合表6.4.4的规定，标识较长时，可根据实际需要增加标识长度。
表6.4.4 标识尺寸与管径的对照
6.4.5 管道上粘贴标识应符合下列规定:
1 管道内径小于或等于100mm的水平直管道，以人员视线为基准方位，应每隔3m粘贴一张；管道内径大于100mm 的水平管道，以人员视线为基准方位，应每隔6m粘贴一张；
2 管道内径小于或等于100mm的垂直管道，应每隔 2m粘贴一张，并应以地面向上150cm 处为基准位置粘贴一张；管道内径大于100mm的垂直管道，应每隔4m粘贴一张，并应以地面向上150cm处为基准位置粘贴一张；
3 管道阀件、弯头的连接处，工艺设备与管道的连接处，以及管道穿越墙、壁、楼板的两侧部分都应各粘贴一张；标识粘贴应整齐、牢固，水平管道的标识中心应相互对齐，垂直管道的标识上边缘应对齐。
7建筑结构
7.1 一般规定
7.1.1 特种气体站的平面布置应符合下列规定：
1 特种气体站应布置在辅助生产区，且远离有明火或散发火花的地点；
2 特种气体站不得布置在人员密集地段和主要交通要道临近处；
3 特种气体站的设置应方便运输车辆和消防车辆的进出；
4 特种气体站的储存、分配区域应设有防止车辆撞击的保护措施；
5 大宗硅烷站宜设置不燃烧体的实体围墙，其高度不应小于2.0m。
7.1.2 有爆炸危险的特种气体站房的承重结构宜采用钢筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护措施，腐蚀性特种气体间的钢结构、排架结构应采用防腐蚀保护措施。
7.1.3 有爆炸危险的特种气体站房间应设置泄压设施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
7.2 建筑防火
7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距，不得小于表7.2.1的规定。
表7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距(m)
注：1 防火间距应按相邻建(构)筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的最近距离计算。
2 甲类特种气体站与甲类仓库之间的防火间距，当第3、4项物品使用储量不大于2t，第1、2、5、6项物品使用储量不大于5t时，不应小于12m。
7.2.2 布置于生产厂房的甲、乙类特种气体间的耐火等级不应低于二级，结构构件的耐火极限应该符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
7.2.3 特种气体站内的装修材料应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定。
7.2.4 有爆炸危险的特种气体间与无爆炸危险房间之间，应采用耐火极限不低于4.00h的不燃烧体防爆墙分隔，防爆墙上不应开设门窗洞口；设置双门斗相通时，门应错位布置，门应为甲级防火门。
7.2.5 特种气体站的电气控制室应设置在独立的房间内：与硅烷气瓶间等有爆炸危险的房间相邻时，相邻的隔墙不得有门窗、洞口，隔墙的耐火极限不得低于3.00h。
7.2.6 当自燃性、易燃性特种气体管道穿越防火隔断时，应采用不燃材料将管道与防火隔断之间的缝隙填实封堵，封堵材料的耐火等级与防火隔断应相同。
7.2.7 有爆炸危险的特种气体房间的设计应符合下列规定：
1 安全出口不应少于2个，并应分散布置；
2 相邻2个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外；爆炸危险的特种气体房间通向疏散走道处应设置门斗等防护措施，门斗隔墙为耐火极限不应低于2.00h 防火隔墙，门应采用甲级防火门；
3 爆炸危险特种气体的房间面积小于或等于100m²且同一时间的生产人数不超过5人时，可设置一个直接通往室外的出口。
7.2.8 毒性、腐蚀性、惰性气体间的设计应符合下列规定：
1 安全出口不应少于2个，并应分散布置；
2 相邻2个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外；毒性、腐蚀性、惰性气体间通向疏散走道的门应为乙级防火门；
3 毒性、腐蚀性、惰性气体间的面积小于或等于150m²，且同一时间的作业人员不超过10人时，可设置一个直接通往室外的出口。
7.2.9 硅烷站安全出口的设置应符合下列规定：
1 硅烷站的建筑面积大于或等于19m²时，不得少于两个安全出口；建筑面积小于19m²时，不得少于一个安全出口；
2 硅烷站内任何地点到最近安全出口的距离不得大于23m。
7.3 建筑构造措施
7.3.1 特种气体站房净高度宜大于4.5m，并应满足设备与管道布置的要求;对于一些比空气轻的气体、混合气体，可采用坡屋顶，并应在屋顶最高处保持通风良好。
7.3.2 特种气体房间的疏散门应采用平开门，并应向疏散方向开启，疏散门应采用快开式推杆锁，不得采用其他形式的锁具。有爆炸危险房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料制作。
7.3.3 易燃性特种气体相对密度小于或等于0.75时，特种气体间上部应采取防止气体集聚的措施。
7.3.4 易燃性种气体相对密度大于0.75时，特种气体间应符合下列规定:
1 应采用不产生火花的地面，并应平整、耐磨、防滑；
2 采用绝缘材料作整体面层时，应采取防静电措施。
8电气与防雷
8.1 配电与照明
8.1.1 特种气体站房的电力负荷分级应符合下列规定：
1 特种气体站房除检修插座电源外不应低于二级负荷；
2 气体管理与气体探测系统应配置不间断电源(UPS)。
8.1.2 特种气体站房中的爆炸性气体环境内电气设备选择不应低于2区，并应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
8.1.3 特种气体站房的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安装在设备正上方，并应设置备用照明。
8.2 防雷与接地
8.2.1 特种气体站的防雷分类不应低于第二类防雷建筑物，并应采取防直击雷、防雷电感应和防闪电电涌侵人的措施。
8.2.2 排放爆炸危险气体或蒸气的放散管、风管等物体的防雷应符合现行国家标准(《建筑物防雷设计规范》GB 50057中第一类防雷建筑物的防雷措施中对管口保护范围的有关规定;突出屋面的排放无爆炸危险气体或蒸气的放散管、风管，以及装有阻火器的放散管、排风管的防雷应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB50057中第二类防雷建筑物的防雷措施中的有关规定。
8.2.3 特种气体管道在进出建筑物处应与防闪电感应的接地装置相连。室外架空敷设的特种气体管道，宜每隔 25m接地一次，其冲击接地电阻不宜大于10Ω。
8.2.4 特种气体设备与管道应采取防静电接地措施，在管道进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分岔处及直管段每隔 30m处应设防静电接地。
8.2.5 设备接地端子、管道卡箍或法兰与接地线之间，可采用螺栓紧固连接;对有振......
|