| 标准编号 | GB/T 11164-2011 (GB/T11164-2011) | | 中文名称 | 真空镀膜设备通用技术条件 | | 英文名称 | Vacuum coating plant generic specification | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J78 | | 国际标准分类 | 23.160 | | 字数估计 | 11,114 | | 发布日期 | 2011-11-21 | | 实施日期 | 2012-06-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 11164-1999 | | 引用标准 | GB/T 191-2008; GB/T 3161-2007; GB 5226.1-2008; GB/T 6070-2007; GB/T 13306-2011; GB/T 13384-2008; GB/T 15945-2008; GB 18209.1-2010; JB/T 7673 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第18号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。 | GB/T 11164-2011
Vacuum coating plant generic specification
ICS 23.160
J78
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 11164-1999
真空镀膜设备通用技术条件
2011-11-21发布
2012-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 技术要求 2
5 试验方法 4
6 检验规则 5
7 标志、包装、运输、贮存 5
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T 11164-1999《真空镀膜设备通用技术条件》,与GB/T 11164-1999相比主要变
化如下:
---为使用方便增加了目次;
---修改了GB/T 11164-1999中真空镀膜设备的压力范围,由10-4Pa~10-3Pa修改为10-5Pa~
10-3Pa;
---修改了GB/T 11164-1999表1中镀膜室尺寸分档,增加了300、400、450、1100、1350、2200、
2400、2500、2600、3200十档尺寸,并对带“*”号尺寸优先选用进行了调整;
---修改了GB/T 11164-1999表1中镀膜设备的分档,增加了C档镀膜设备,并增加或修改了各
档镀膜设备的极限压力、抽气时间及升压率指标;
---因GB/T 11164-1999中部分规范性引用文件已修订,故本标准引用现行标准;
---修改了GB/T 11164-1999的4.4.6,用表格的方式规定了设备配套的电器装置中各电气回路
的绝缘电阻值;
---修改了GB/T 11164-1999的4.5.4及4.5.12,增加了安全防护内容。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本标准负责起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司。
本标准参加起草单位:上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器
有限公司、中国航天科技集团第五研究院第510研究所、上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研
究所。
本标准主要起草人:陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰、靳毅、刘强、惠进德、王学智。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T 11164-1989、GB/T 11164-1999。
真空镀膜设备通用技术条件
1 范围
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa~10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下
简称设备)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本
文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 191-2008 包装储运图示标志
GB/T 3163-2007 真空技术 术语
GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第1部分:通用技术条件
GB/T 6070-2007 真空技术 法兰尺寸
GB/T 13306-2011 标牌
GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件
GB/T 15945-2008 电能质量 电力系统频率偏差
GB 18209.1-2010 机械电气安全 指示、标志和操作 第1部分:关于视觉、听觉和触觉信号的
要求
JB/T 7673 真空设备型号编制方法
3 术语和定义
GB/T 3163-2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
极限压力 ultimatepressure
泵在工作时,空载干燥的真空容器逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力。
注:单位为帕(Pa)。
3.2
恢复真空抽气时间 pump-downtime
真空系统正常工作时,将空载干燥的镀膜室从大气压(105Pa)抽到规定的工作压力所需要的时间。
注:单位为分钟(min)。
3.3
升压率 rat......
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