| 标准编号 | GB/T 25186-2010 (GB/T25186-2010) | | 中文名称 | 表面化学分析 二次离子质谱-由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 7,777 | | 发布日期 | 2010-09-26 | | 实施日期 | 2011-08-01 | | 引用标准 | GB/T 22461-2008 | | 采用标准 | ISO 18114-2003, IDT | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2010年第6号(总第161号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准指定了一种由离子注入参考物质确定二次离子质谱分析中相对灵敏度因子的方法。本标准适用于基体化学成分单一的样品, 其中注入物质的峰值原子浓度不超过1%。 | GB/T 25186-2010
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 二次离子质谱
由离子注入参考物质确定
相对灵敏度因子
(ISO 18114:2003,IDT)
2010-09-26发布
2011-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准等同采用ISO 18114:2003《表面化学分析 二次离子质谱 由离子注入参考物质确定相对
灵敏度因子》。
为了方便使用,本标准做了下列编辑性修改:
---用“本标准”代替“本国际标准”。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心。
本标准主要起草人:马农农、何友琴、何秀坤。
引 言
在二次离子质谱分析中,常使用离子注入物质校准仪器。
本标准将提供一种统一的方法:由离子注入参考物质来确定某种元素在特定基体中的相对灵敏度
因子,并说明如何确定具有相同基体材料的不同样品中该元素的浓度。
表面化学分析 二次离子质谱
由离子注入参考物质确定
相对灵敏度因子
1 范围
本标准指定了一种由离子注入参考物质确定二次离子质谱分析中相对灵敏度因子的方法。
本标准适用于基体化学成分单一的样品,其中注入物质的峰值原子浓度不超过1%。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇(ISO 18115:2001,IDT)
3 术语和定义
GB/T 22461-2008界定的术语和定义适用于本文件。
4 符号及缩略语
CiA,M 深度剖析的第i个周期时,被分析元素A 在基体M 中的原子浓度,用单位体积原子个数
表示;
d 深度剖析中求积分用的深度,用长度单位表示;
IiAj 在测试的第i周期时,同位素Aj的被分析离子检测计数率,用计数/s表示;
IiMk 在测试的第i周期时,参考同位素Mk的检测计数率,用计数/s表示;
IBG Aj的被分析离子的平均本底计数率,用计数/s表示;
NAj 未知样品中,被分析同位素Aj的丰度值;
n 深度剖析中求积分用的深度所包含的周期数;
ϕ 同位素Aj的注入剂量,用单位面积原子个数表示;
RSF 相对灵敏度因子,用单位体积原子个数表示;
SIMS 二次离子质谱。
5 原理
可以从离子注入外标准物质的SIMS深度剖析中,得出特定的元素-基体组合中某一同位素的相对
灵敏度因子......
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