| 标准编号 | GB/T 25495-2010 (GB/T25495-2010) | | 中文名称 | 吸气剂金属释放特性测试方法 | | 英文名称 | Test methods for metal releasing characteristics of getters | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 31-030 | | 字数估计 | 11,121 | | 发布日期 | 2010-12-01 | | 实施日期 | 2011-05-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 6626.1-1986; GB/T 9506.2-1988; GB/T 9506.6-1988 | | 引用标准 | GB/T 4314; GB/T 25494-2010, | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2010年第9号(总第164号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法, 如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。 | GB/T 25495-2010
Test methods for metal releasing characteristics of getters
ICS 31-030
L90
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 6626.1-1986,GB/T 9506.6-1988,GB/T 9506.2-1988
吸气剂金属释放特性测试方法
2010-12-01发布
2011-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准是将以下标准整合后进行修订的:
---GB/T 6626.1-1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》;
---GB/T 9506.6-1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》;
---GB/T 9506.2-1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。
本标准与原标准相比主要变化如下:
---取消释汞吸气剂释汞特性的测试方法中的名词术语,在规范性引用文件中新增GB/T 4314
《吸气剂术语》;
---将GB/T 6626.1-1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》与
GB/T 9506.2-1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的测试系统、方法合并;
---取消试验设备中的无脂球阀;
---将试验中测试室的尺寸按使用用途分类改为按金属释放量分类;
---将释汞量、得钡量加热完后称重时间由15min更改为5min内;
---释汞特性曲线的测试由400℃开始提高到500℃开始;
---取消平均值、标准偏差的计算方法;
---取消得钡量一致性测试;
---取消测试报告格式;
---将GB/T 9506.2-1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的蒸散曲线绘制方法中的起蒸
时间的控制表述进行修订;
---根据GB/T 1.1-2000的要求进行格式修订。
本标准代替下列标准:
---GB/T 6626.1-1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》;
---GB/T 9506.6-1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》;
---GB/T 9506.2-1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国
电子科技集团公司第十二研究所。
本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T 6626.1-1986;
---GB/T 9506.6-1988;
---GB/T 9506.2-1988。
吸气剂金属释放特性测试方法
1 范围
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲
线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。
本标准适用于真空器件用吸气剂。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T 4314 吸气剂术语
GB/T 25494-2010 吸气剂成分分析测试方法
3 术语
GB/T 4314所确定的术语和定义适用于本标准。
4 金属释放量的测试方法
4.1 原理
吸气剂金属释放量的测试,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、蒸散型钡吸气剂得钡量等,均采
用“差重法”测定释放出的金属量。
4.2 测试设备和条件
对蒸散型吸气剂进行测试时,推荐的试样室和高频感应线圈尺寸见表1。试样应处于圆筒形试样
室和高频感应线圈的中央。通常,将试样放置在能够直接朝向试样室顶部蒸散的水平位置......
|