| 标准编号 | GB/T 26250-2025 (GB/T26250-2025) | | 中文名称 | 电子气体 砷化氢 | | 英文名称 | Electronic gas - Arsine | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 10,145 | | 发布日期 | 2025-04-25 | | 实施日期 | 2025-11-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 26250-2010 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 26250-2025: 电子气体 砷化氢
ICS 71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 26250-2010
电子气体 砷化氢
2025-04-25发布
2025-11-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 26250-2010《电子工业用气体 砷化氢》,与GB/T 26250-2010相比,除结构
调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
---更改了范围(见第1章,2010年版的第1章);
---更改了砷化氢应符合的技术要求(见第4章,2010年版的第3章);
---更改了采样的要求(见第5章,2010年版的4.1.2);
---更改了纯度计算方法(见6.1,2010年版的4.2);
---更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、磷化氢含量的测定方法(见6.2,2010年版的
4.4、4.5、4.6、4.8);
---增加了乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、硫化氢含量的测定方法(见6.2);
---更改了水分含量的测定方法(见6.3,2010年版的4.7);
---更改了尾气处理的要求(见6.4,2010年版的4.3);
---更改了金属元素的测定方法(见6.5,2010年版的4.9);
---删除了颗粒的测定(2010年版的4.10);
---更改了检验规则(见第7章,2010年版的4.1);
---更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见第8章,2010年版的5.1);
---更改了安全信息的内容(见8.3,2010年版的5.2)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海栎智半导
体科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公
司、浙江省标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、
中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投
资(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容
器有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷
环保科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司。
本文件主要起草人:马彬淇、马杰、潘华杰、任如、孙建、叶凯、乔洋、董建平、沈峰、史兰、崔雯、
赵赛迪、吕磊、刘丹、孙福楠、郭琼、赖晓峰、王见见、依俊廷、杜雨桐、黄辉、李春华、杨金山、鲍光强、
王大为、李明、常侠、牛迪、谈益强、尹乐乐、赵洁、何波、唐中伟、周鹏云、唐霞梅。
本文件于2010年首次发布,本次为第一次修订。
电子气体 砷化氢
1 范围
本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试
验方法,提供了砷化氢的安全信息。
本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 4844 纯氦、高纯氦和超纯氦
GB/T 5099(所有部分) 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 11640 铝合金无缝气瓶
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB/T 16804 气瓶警示标签
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相......
|