| 标准编号 | GB/T 26251-2010 (GB/T26251-2010) | | 中文名称 | 氟和氟氮混合气 | | 英文名称 | Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 10,133 | | 发布日期 | 2011-01-14 | | 实施日期 | 2011-05-01 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB 7144; GB/T 8979; GB/T 11640; GB 14194; GB/T 26571; 《气瓶安全监察规程》 国家质量监督检验检疫总局发布 2000年, | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第16号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。 本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物, 亦可用于激光气或塑料氟化处理等领域。 氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。 |
GB/T 26251-2010
Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
GB/T 26251-2010
氟 和 氟 氮 混 合 气
2011-01-14发布
2011-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准的附录A为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。
本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203)归口。
本标准起草单位:中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟
业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云。
GB/T 26251-2010
氟 和 氟 氮 混 合 气
1 范围
本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。
本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、
三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物,也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。
氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。
氟的分子式:F2。
氟的相对分子质量:37.9968064(按2007年国际相对原子质量计算)。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶
GB 7144 气瓶颜色标志
GB/T 8979 纯氮、高纯氮和超纯氮
GB/T 11640 铝合金无缝气瓶
GB 14194 永久气体气瓶充装规定
GB/T 26571 特种气体储存期规范
《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布,2000年)
3 技术要求
3.1 氟的技术要求应符合表1的规定。
表1 氟的技术指标
项 目 指 标
氟(F2)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.0
氧(O2)+氮(N2)含量(体积分数)/10-2 ≤ 0.45
四氟化碳(CF4)含量(体积分数)/10-2 ≤ 0.05
氟化氢(HF)含量(体积分数)/10-2 ≤ 0.50
3.2 氟氮混合气的技术要求应符合表2......
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