| 标准编号 | GB/T 2900.104-2021 (GB/T2900.104-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | Electrotechnical terminology - Micro-electromechanical devices | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | K04 | | 字数估计 | 28,241 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 2900.104-2021
Electrotechnical terminology -- Micro-electromechanical devices
ICS 01.040.29
CCSK04
中华人民共和国国家标准
电工术语 微机电装置
2021-10-11发布
2022-05-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T 2900《电工术语》的第104部分。GB/T 2900已经发布了100多个部分。
本文件等同采用IEC 60050-523:2018《国际电工词汇 第523部分:微机电装置》。
本文件做了下列最小限度的编辑性修改:
---修改了标准名称;
---增加了参考文献。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国电工术语标准化技术委员会(SAC/TC232)提出并归口。
本文件起草单位:中机生产力促进中心、芜湖中集瑞江汽车有限公司、广东瑞克斯智能科技有限公
司、北京大学、芜湖市标准化研究院、东莞市吉铼升电机股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、
福州华虹智能科技股份有限公司、广东万江配电有限公司、浙江博亚精密机械有限公司。
本文件主要起草人:蒯勇、张威、李桂芳、李婧、范远斌、申延智、倪圣叨、李英、王本雄、蓝秀堂、姜圆、
陆学贵。
引 言
GB/T 2900电工术语系列国家标准对应IEC 60050国际电工词汇系列国际标准。根据IEC 对电
工领域的分类,将电工术语系列标准分为9类:1)基本概念;2)电工材料;3)仪器仪表;4)电工设备;5)电
子设备;6)发电、输电和配电;7)电信技术;8)特殊应用;9)标准化。
本文件等同采用IEC 60050-523:2018《国际电工词汇 第523部分:微机电装置》,归于第5部分电
子设备,为微机电装置方面通用、基础术语,可为本领域技术标准制修订、技术交流提供帮助。
GB/T 2900电工术语系列国家标准第5部分“电子设备”已发布标准包括:
---GB/T 2900.33-2004 电工术语 电力电子技术(IEC 60050-551:1998,IEC 60050-551-20:
2001,IDT);
---GB/T 2900.66-2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC 60050-521:2002,IDT);
---GB/T 4210-2015 电工术语 电子设备用机电元件(IEC 60050-581:2008,IDT)。
电工术语 微机电装置
1 范围
本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量
技术和应用相关术语。
本文件适用于微机电技术领域。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
3.1 通用术语
523-01-01
微机电器件
集成了敏感器、执行器、传感器、谐振器、振荡器、机械部件和/或电路的微型装置。
注:在微尺度上,相关技术与基础技术(如设计、材料、加工、功能元件、系统控制、能源供应、键合和组装、电路)、基
础科学(如微观科学和工程),以及热力学和摩擦学都极为不同。如果微机电器件构成一个系统,它有时被称为
MEMS,是“微机电系统”的缩写。
[来源:IEC 62047-1:2016,2.1.1]
523-01-02
利用微机械加工实现微电、光学和机械系统及其部件的技术。
注:术语 MST主要用于欧洲。
[来源:IEC 62047-1:2016,2.1.2741-01-03]
523-01-03
微机械 micromachine
小型化装置,其部件尺寸为几毫米或更小。
注:包括各种功能装置。如采用微机械技术的传感器。
[来源:IEC 62047-1:2016,2.1.3.1]
3.2 科学与工程
523-02-01
尺度效应 scaleeffect
由于一个或多个尺寸的变化而导致其性质和特性发生改变的现象。
注:物体的体积与其......
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