| 标准编号 | GB/T 29557-2013 (GB/T29557-2013) | | 中文名称 | 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Depth Profiling -- Measurement of sputtered depth | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 16,166 | | 采用标准 | ISO/TR 15969-2001.IDT | | 标准依据 | 国家标准公告2013年第10号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术, 通常溅射深度可达几微米。 | GB/T 29557-2013
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 深度剖析
溅射深度测量
(ISO/T R15969:2001,IDT)
2013-07-19发布
2014-03-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO/T R15969:2001《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》。
本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。
引 言
本标准适用于以下三个方面:
a) 当检测信号强度为溅射时间(或离子剂量密度)的函数时,确定溅射剖析的深度标尺。单位时
间的溅射深度为溅射速率(通常以nm/s为单位)。
b) 增强用不同仪器得到深度剖析数据的可比性,提高深度剖析的可靠性并促进其在工业中的
应用。
c) 作为溅射深度测量国际标准发展的基础。
表面化学分析 深度剖析
溅射深度测量
1 范围
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
2 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
注:本标准使用的术语基本上遵循ASTME673-95c[1]的定义。为了与ISO/TC201/SC1制定的定义在术语上一
致,这些定义应作一定修改,见参考文献[2]和[3]。
2.1
溅射深度 sputtereddepth
溅射剖析剥离一定量的物质,溅射后的样品表面与样品原始表面之间的距离z(m)(与表面垂
直),定义为:
z= mA·ρ
(1)
式中:
m---剥离的样品量,单位为千克(kg);
A---溅射面积,单位为平方米(m2);
ρ ---样品密度,单位为千克每立方米(kg/m3)。
2.2
弧坑深度 craterdepth
原始表面与产生被测信号的弧坑底部区域的平均距离(垂直于表面)。
注:假定入射离子注入与残留在垂直于表面方向引起样品的膨胀(“隆起”)可以忽略[5],则弧坑深度等于溅射深度。
如果在分析室外通过测量弧坑深度来测定溅射深度,表面反应(如氧化)会增加弧坑底部隆起,即通常测量的弧
坑......
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