| 标准编号 | GB/T 30869-2014 (GB/T30869-2014) | | 中文名称 | 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法 | | 英文名称 | Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 8,899 | | 发布日期 | 7/24/2014 | | 实施日期 | 2/1/2015 | | 引用标准 | GB/T 26071; GB/T 29055 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第19号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测试方法。本标准适用于符合GB/T 26071、GB/T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量, 分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量, 扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下, 本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。 | GB/T 30869-2014
Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell
ICS 77.040
H21
中华人民共和国国家标准
太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化
测试方法
2014-07-24发布
2015-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC
203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司、乐山新
天源太阳能科技有限公司、青洋电子材料有限公司。
本标准主要起草人:何紫军、冯地直、程宇、黎阳、陈琳、荆旭华、刘卓。
太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化
测试方法
1 范围
本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。
本标准适用于符合GB/T 26071、GB/T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量,分立
式测量方法适用于接触式及非接触式测量,扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许
的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 26071 太阳能电池用硅单晶切割片
GB/T 29055 太阳电池用多晶硅片
3 方法提要
3.1 分立点式测量
在硅片对角线交点和对角线上距两边15mm的4个对称位置点测量硅片厚度(见图1)。硅片中
心点厚度作为硅片的标称厚度。5个厚度测量值中的最大厚度与最小厚......
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