| 标准编号 | GB/T 32279-2015 (GB/T32279-2015) | | 中文名称 | 硅片订货单格式输入规范 | | 英文名称 | Specification for order entry format of silicon wafers | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H80 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 19,198 | | 发布日期 | 2015-12-10 | | 实施日期 | 2017-01-01 | | 标准依据 | 国家标准公告2015年第38号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 32279-2015
Specification for order entry format of silicon wafers
ICS 29.045
H80
中华人民共和国国家标准
硅片订货单格式输入规范
2015-12-10发布
2017-01-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:万向硅峰电子股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限
公司、南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、江苏协鑫硅材
料科技发展有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:朱兴萍、楼春兰、戴文仙、毛卫中、赵纪平、王飞尧、马林宝、孙燕、李慎重、
林清香、杨素心、邹剑秋。
硅片订货单格式输入规范
1 范围
本标准规定了硅片订货单的格式要求和使用。
本标准适用于硅单晶研磨片、硅单晶抛光片、硅单晶外延片、太阳能电池用硅单晶切割片、太阳能电
池用多晶硅片的订货单格式,其他半导体材料的订货单可参照本标准执行。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
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