| 标准编号 | GB/T 32293-2015 (GB/T32293-2015) | | 中文名称 | 真空技术 真空设备的检漏方法选择 | | 英文名称 | Vacuum technology -- Selection of leak test methods for vacuum equipment | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J78 | | 国际标准分类 | 23.160 | | 字数估计 | 19,196 | | 发布日期 | 2015-12-10 | | 实施日期 | 2016-07-01 | | 引用标准 | GB/T 3163; GB/T 9445 | | 标准依据 | 国家标准公告2015年第38号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择, 适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。 | GB/T 32293-2015
Vacuum technology - Selection of leak test methods for vacuum equipment
ICS 23.160
J78
中华人民共和国国家标准
真空技术 真空设备的检漏方法选择
2015-12-10发布
2016-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 人员资格 1
5 通用要求 2
6 检漏方法汇总 2
7 检漏方法选择程序 3
8 检漏方法的选择 3
9 检漏安全 5
附录A(规范性附录) 不同检漏条件的漏率修正 6
附录B(规范性附录) 真空设备常用检漏方法及主要特征参数 8
附录C(资料性附录) 真空设备其他检漏方法及主要特征参数 10
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本标准起草单位:北京卫星环境工程研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、安徽
皖仪科技股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、中山凯旋真
空技术工程有限公司、威海智德真空科技有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研
究所。
本标准主要起草人:孙立臣、史纪军、李得天、刘恩均、汪力、闫荣鑫、张春元、孙刚、陈光奇、刘磊、
黄文平、赵伟胜、赵计春、言继春、王功发、言润泉、高峰、胡双丽、林乐忠、王长明、王玲玲。
真空技术 真空设备的检漏方法选择
1 范围
本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序
及选择原则、检漏方法的特征参数。
本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀
门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设
备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准
执行。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3163 真空技术 术语
GB/T 9445 无损检测 人员资格鉴定与认证
3 术语和定义
GB/T 3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
漏率 leakagerate
在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。
3.2
qemin
在具体的工作条件下,检漏方法所能检出的最小漏孔漏率。
3.3
真空设备正常工作所能接受的最大漏率。
3.4
黏滞漏孔 viscousleak
漏孔的质量流率反比于流动气体黏度的一种漏孔。
3.5
分子漏孔 mo......
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