| 标准编号 | GB/T 33826-2017 (GB/T33826-2017) | | 中文名称 | 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法 | | 英文名称 | Measurement of nanofilm thickness on glass substrate -- Profilometric method | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | Q34 | | 国际标准分类 | 71.040.99 | | 字数估计 | 15,156 | | 发布日期 | 2017-05-31 | | 实施日期 | 2017-12-01 | | 引用标准 | GB/T 29505 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。 | GB/T 33826-2017
Measurement of nanofilm thickness on glass substrate -- Profilometric method
ICS 71.040.99
Q34
中华人民共和国国家标准
玻璃衬底上纳米薄膜厚度
测量 触针式轮廓仪法
2017-05-31发布
2017-12-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC279/SC1)归口。
本标准主要起草单位:中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限
公司、冶金工业信息标准研究院。
本标准参加起草单位:中国建材检验认证集团股份有限公司、中国建材检验认证集团(陕西)有限公
司、广东中科华大工程技术检测有限公司、哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所。
本标准主要起草人:孟政、刘静、候英兰、徐勇、戴石锋、汪洪、梁慧超、张继军、张庆华、代铮、张卫星、
赵晋武、郎岩梅。
玻璃衬底上纳米薄膜厚度
测量 触针式轮廓仪法
1 范围
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、
步骤及测试报告等。
本标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm~1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量,且薄膜与衬底之
间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 29505 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
掩模 mask
选择性地阻挡辐照或物质穿透的掩蔽模板。
3.2
化学蚀刻 chemicaletching
利用表面材料在特定介质或特定环境下与腐蚀液发生化学反应而移除的技术。
4 原理
通过覆盖掩模或者化学蚀刻等手段在薄膜......
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