| 标准编号 | GB/T 34085-2017 (GB/T34085-2017) | | 中文名称 | 电子工业用气体 三氟甲烷 | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Trifluoromethane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 10,129 | | 发布日期 | 2017-07-31 | | 实施日期 | 2017-11-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34085-2017
Gas for electronic industry--Trifluoromethane
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体 三氟甲烷
2017-07-31发布
2017-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位.国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、
浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大
特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工
股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人.陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、
王鸿、崔学文、周朋云。
电子工业用气体 三氟甲烷
1 范围
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等
离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
分子式.CHF3。
相对分子质量.70.013(按2011年国际相对原子质量)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分.光腔衰荡光谱法
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB/T 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSGR0006 气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
3 技术要求
三氟甲烷的质量应符合表1的要求。
表1 技术指标
项目 指标
三氟甲烷 (CHF3)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.999
氧+氩(O2+Ar)含量(体积......
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