| 标准编号 | GB/T 34178-2017 (GB/T34178-2017) | | 中文名称 | 光掩模石英玻璃基板 | | 英文名称 | Silica glass substrates for photomask | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | Q35 | | 国际标准分类 | 81.040.30 | | 字数估计 | 14,189 | | 发布日期 | 2017-09-07 | | 实施日期 | 2018-08-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34178-2017
Silica glass substrates for photomask
ICS 81.040.30
Q35
中华人民共和国国家标准
光掩模石英玻璃基板
2017-09-07发布
2018-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。
本标准起草单位.中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶
光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。
本标准主要起草人.吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、
杨学东、孔敏、张应语。
光掩模石英玻璃基板
1 范围
本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验
规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光
刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3284-2015 石英玻璃化学成分分析方法
GB/T 5949 透明石英玻璃气泡、气线试验方法
GB/T 32189 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
JC/T 185 光学石英玻璃
JC/T 655 石英玻璃制品内应力检验方法
JC/T 2205 石英玻璃术语
3 术语和定义
JC/T 2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
石英玻璃基板厚度的最大值和最小值间的差。
3.2
平整度 flatness
石英玻璃基板背表面为理想平面时,例如,背表面放置在一个理想、平坦的平面上,石英玻璃基板正
表面相对于规定的基准面......
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